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技術文章

法國PIEZOCONCEPT 三軸位移臺 定位器技術參數

閱讀:864          發布時間:2023-9-28

LT3系列位移臺有三種運動范圍 100 200 300.LT3 是一款 3 軸超薄納米定位器,主要設計用于集成到任何類型的倒置顯微鏡中。該壓電級可以與粗定位的微級結合使用


標準 LT3 采用鋁制成,但對于布魯克 AFM 升級,LT3.100 (100μm 版本) 采用殷鋼材質,可實現更高的熱穩定性



BIO3系列三軸超薄型納米定位器設計用于集成到任何類型的倒置顯微鏡中。顯微鏡載玻片可以容納在其矩形孔徑內。可與粗定位微載物臺組合使用。

BIO3是一款3軸超薄型納米定位器,設計用于集成到任何類型的倒置顯微鏡中。顯微鏡載玻片可以安裝在其矩形孔徑中。該壓電級可以與粗定位微載物臺結合使用

標準BIO3由鋁制成。BIO3.100(100μm版本)采用殷鋼材質,具有更高的熱穩定性


LFS3系列三軸納米定位器,孔徑為40 x 40mm




SPM3系列三軸超高速納米定位器


三軸超高速納米定位器。

SPM3級的Z部分可以具有高達50μm的行程范圍,并提供市場上最高的速度能力(高達12.5kHz諧振頻率)。專為原子力顯微鏡等要求苛刻的計量應用而設計




SPM3載物臺是一款3軸超高速納米定位器,沿X和Y的行程范圍高達75μm,兩個軸上的諧振頻率均高于2kHz。

SPM3級的Z部分可具有高達50μm的行程范圍,并提供市場上最高的速度能力,最大諧振頻率為12.5kHz。事實上,當與高功率控制器一起使用時,SPM3.5在Z軸上的階躍響應時間可以小于一毫秒。這就是為什么SPM載物臺特別適合要求苛刻的計量應用,如原子力顯微鏡。


它可以與粗定位的微載物臺結合使用(請參閱我們的混合系統)。該納米定位器是我們高速產品線的一部分(提供高功率控制器)

LFS3 是一款 3 軸納米定位器,沿 X 和 Y 提供 100μm 的行程,沿 Z 軸的行程為 20 μm,孔徑為 40 x 40 mm

該壓電級可以與粗定位的微級結合使用。


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