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實驗室冷阱在真空操作中的重要作用
閱讀：1566 發布時間：2023-2-10
實驗室冷阱是利用低溫表面來凝聚氣體分子以實現抽氣的一種泵，是真空鍍膜設備目前獲得極限真空高，抽速至大的抽氣泵。冷凝泵是依靠制冷機獲取冷量，利用低溫表面冷凝和吸附氣體的物理過程來獲得和保持真空。它具有極限真空度高(可達10-8Pa)、清潔無油、對各種氣體都具有較大抽速等特點，同時它可以長期可靠運行，是分子泵、油擴散泵。能快速吸附水、油蒸汽、可縮短排氣時間60-90%；降溫、除霜、回溫迅速，5分鐘可再降溫；一臺設備可設計兩路負載輸出，搭配觸摸屏+PLC完善的自動化控制；具有兩路負載入口和出口溫度顯示、本機溫度顯示；當待機溫度到達后有指示燈提示，可以開始制冷。因此在半導體器件的生產過程中，廣泛運用于蒸發、濺射、離子注入、分子束外延等工藝。
實驗室冷阱在真空操作中的重要作用：
1.提高真空效率
真空室中的油氣和水汽，靠產品的低溫使其冷凝成液，減少對真空度的影響。冷凍真空干燥是常見的干燥方法，以1g冰為例，在0.1Torr時產生可以產生10000L水汽。干燥箱內的水分將產生數量巨大的水汽。這些水汽如果僅靠真空泵來排除，真空泵的工作效率將會降的極低。它的低溫可以將水汽在產品部位直接凝結，從而提高真空泵的工作效率。這就是低溫干燥箱，低溫離心濃縮儀都要配備這款產品的原因。
2.減少腐蝕性試氣體真空泵的影響
抽真空體系中，經常會有腐蝕性試劑的存在。腐蝕性試劑在抽真空過程中會轉化為氣體分子通過管路流經真空泵排入大氣。腐蝕性氣體在流經真空泵時，可能會對真空泵造成的損傷，如：酸性氣體會腐蝕真空泵的金屬部件。腐蝕性氣體經過真空泵的排氣口，如果直接排入大氣，也會對空氣造成污染。