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掃描電子顯微鏡的廣泛應(yīng)用及產(chǎn)品的功能特點(diǎn)
閱讀：639 發(fā)布時(shí)間：2021-4-9
掃描電子顯微鏡的廣泛應(yīng)用及產(chǎn)品的功能特點(diǎn)
掃描電鏡成像過程與電視成像過程有很多相似之處, 而與透射電鏡的成像原理*不同。透射電鏡是利用成像電磁透鏡一次成像, 而掃描電鏡的成像則不需要成象透鏡, 其圖象是按一定時(shí)間、空間順序逐點(diǎn)形成并在鏡體外顯像管上顯示。
二次電子成象是使用掃描電鏡所獲得的各種圖象中應(yīng)用廣泛, 分辨本領(lǐng)高的一種圖象。我們以二次電子成象為例來說明掃描電鏡成象的原理。
由電子槍發(fā)射的電子束高可達(dá)30keV, 經(jīng)會(huì)聚透鏡、物鏡縮小和聚焦, 在樣品表面形成一個(gè)具有一定能量、強(qiáng)度、斑點(diǎn)直徑的電子束。在掃描線圈的磁場作用下, 入射電子束在樣品表面上按照一定的空間和時(shí)間順序做光柵式逐點(diǎn)掃描。由于入射電子與樣品之間的相互作用, 將從樣品中激發(fā)出二次電子。由于二次電子收集極的作用, 可將各個(gè)方向發(fā)射的二級(jí)電子匯集起來, 再將加速極加速射到閃爍體上, 轉(zhuǎn)變成光信號(hào), 經(jīng)過光導(dǎo)管到達(dá)光電倍增管, 使光信號(hào)再轉(zhuǎn)變成電信號(hào)。這個(gè)電信號(hào)又經(jīng)視頻放大器放大并將其輸送至顯像管的柵極, 調(diào)制顯像管的亮度。因而, 再熒光屏上呈現(xiàn)一幅亮暗程度不同的、反映樣品表面形貌的二次電子象。
在掃描電鏡中, 入射電子束在樣品上的掃描和顯像管中電子束在熒光屏上的掃描是用一個(gè)共同的掃描發(fā)生器控制的。這樣就保證了入射電子束的掃描和顯像管中電子束的掃描*同步, 保證了樣品上的“物點(diǎn)”與熒光屏上的“象點(diǎn)”在時(shí)間和空間上一一對(duì)應(yīng), 稱其為“同步掃描”。一般掃描圖象是由近100萬個(gè)與物點(diǎn)一一對(duì)應(yīng)的圖象單元構(gòu)成的, 正因?yàn)槿绱? 才使得掃描電鏡除能顯示一般的形貌外, 還能將樣品局部范圍內(nèi)的化學(xué)元素、光、電、磁等性質(zhì)的差異以二維圖象形式顯示。