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產(chǎn)品簡介
LPE機臺測溫儀EX-S-3FP系 BASF EXACTUS 系列高溫計產(chǎn)品，在類LPE機臺上（半月形反應腔式）被大量使用，是用于SIC外延爐基座測溫系統(tǒng)的核心部件。
詳細介紹
主要特點
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詳細說明
LPE機臺測溫儀EX-S-3FP系 BASF EXACTUS 系列高溫計產(chǎn)品，BASF Exactus®的原創(chuàng)紅外技術(shù)在控制晶圓之間溫度和薄膜厚度的均勻性方面具有許多優(yōu)勢：高度敏感的電子學和先進的光學技術(shù)意味著可以用更短波長的探測器來測量輻射能，這減少了晶圓透射及發(fā)射率造成的誤差。此外，高速測量和高分辨率確保了控溫和噪聲抑制的優(yōu)異性能， 由此提供了更好的晶圓溫度監(jiān)控和生產(chǎn)工藝。
BASF Exactus®系列測溫設(shè)備已廣泛用于快速退火、快速氧化、薄膜沉積等半導體工藝，并被集成在多家MOCVD設(shè)備以及其他RTP設(shè)備上如：AIXTRON, LPE，Premtek等。另外，由于其具有很高的測溫精度和穩(wěn)定性，也被一些高溫黑體爐廠家作為溫度標準器使用，如Thermogauge公司。
LPE機臺測溫儀EX-S-3FP整套配置包含EI110傳感器，光纖，IFD5數(shù)字模塊，IFA5模擬模塊，綠激光筆，配套線纜及相應的安裝支架. 精度高達1.5℃, 重復性0.1℃。
典型應用
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技術(shù)參數(shù)
| 測量參數(shù) | |
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| 溫度范圍: |
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| 工作波長: | 700 - 1650 nm |
| 測量精度: | 優(yōu)于1.5℃ 或 0.15%測值 |
| 分辨率: | 最高0.01℃ |
| 重復精度: | 0.1℃ |
| 溫度漂移: | 最大 0.10℃/年 環(huán)境: 0.05℃/℃ @ 20-45℃, 0.10℃/℃ @ 其它溫度 |
| 測量速率: | 最高1000 測值/秒, 響應時間1ms |
| 鏡頭 | 固定焦距，光路可定制。 |
| 物理參數(shù) | |
|---|---|
| 供電: | 12-28 VDC, 3W |
| 存儲溫度: | -20 to 70℃ |
| 環(huán)境溫度: | 電子器件: 0 - 60℃ |
| 外殼材質(zhì): | 傳感器和鏡頭外殼，304 不銹鋼/鋁； 氣吹外殼，鋁； 惡劣環(huán)境專用鏡頭: 304 不銹鋼； |
| 重量: | 標準高溫計，0.510 kg (1.125 lbs.) 光纖傳感器，0.198 kg (7 oz.) |