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產地類別	國產	應用領域	環保,化工

SJ6000激光干涉儀

產品簡介

激光干涉儀以光波為載體，其光波波長可以直接對米進行定義，且可以溯源至國家標準，是迄今認的高精度、高靈敏度的測量儀器，在制造領域應用廣泛。 SJ6000 激光干涉儀集光、機、電、計算機等技術于一體，產品采用進口高性能氦氖激光器，其壽命可達 50000 小時；采用激光雙縱模熱穩頻技術，可實現高精度、抗干擾能力強、長期穩定性好的激光頻率輸出；采用高速干涉信號采集、調理及細分技術，可實現最高 4m/s 的測量速度，以及納米級的分辨率；采用高精度環境補償模塊，可實現激光波長和材料的自動補償；采用高性能計算機控制系統及軟件技術，支持中文、英文和俄文語言，友好的人機界面、向導式的操作流程、簡潔化的記錄管理。

SJ6000 激光干涉儀具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、最高測速下分辨率高等優點，結合不同的光學鏡組，可實現線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在 SJ6000 激光干涉儀動態測量軟件配合下，可實現線性位移、角度和直線度的動態測量與性能檢測，以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態分析，如振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等。

SJ6000激光干涉儀

(1) 從 SJ6000 激光干涉儀主機出射的激光束（圓偏振光）通過分光鏡后，將分成兩束激光（線偏振光）； (2) 兩束激光分別經由角錐反射鏡 A 和角錐反射鏡 B 反射后平行于出射光（紅色線條）返回，通過分光鏡后進行疊加，由于兩束激光頻率相同、振動方向相同且相位差恒定，即滿足干涉條件； (3) 角錐反射鏡 B 每移動半個激光波長的距離，將會產生一次完整的明暗干涉現象。測量距離等于干涉條紋數乘以激光半波長。

2.1.2 線性測量配置及使用方法

線性測量（線性軸位置精度測量的簡稱）配置主要由 SJ6000 主機、EC20 環境補償單元、線性鏡組、SJ6000 靜態測量軟件等組件構成，可滿足 0~80m 范圍內的線性測量。其中，線性測量包括定位精度測量、重復定位精度測量和設備反向間隙測量等。

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