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上海艾飛思精密儀器有限公司

全自動(dòng)晶圓接觸角測(cè)量?jī)x在選購時(shí)可關(guān)注哪些方面?

時(shí)間:2025-7-2 閱讀:166
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晶圓上的接觸角測(cè)量對(duì)于評(píng)估這些材料的潤(rùn)濕性和表面特性至關(guān)重要,這些材料廣泛應(yīng)用于電子制造。通過評(píng)估液滴與晶片表面接觸的角度,研究人員可以深入了解硅的表面能和粘附性能。這些信息對(duì)于優(yōu)化半導(dǎo)體制造中的涂層、光刻和鍵合等工藝至關(guān)重要。了解接觸角有助于確保晶片與生產(chǎn)過程中使用的各種材料之間的預(yù)期相互作用,然后提高電子設(shè)備的性能和可靠性。全自動(dòng)晶圓接觸角測(cè)量?jī)x通過測(cè)試液滴在晶圓樣品表面形成接觸角的大小,來檢測(cè)其表面的潔凈程度和評(píng)估表面處理的工藝效果。

在選購全自動(dòng)晶圓接觸角測(cè)量?jī)x時(shí)可參考以下因素:

1、核心參數(shù):

角度分辨率:優(yōu)先選擇±0.1°以內(nèi)機(jī)型,高精度需求可選±0.01°。

重復(fù)性誤差:同一樣品多次測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)偏差應(yīng)小于±0.5°。

接觸角范圍:需覆蓋0°~180°。

2、成像系統(tǒng):

配備高速工業(yè)相機(jī)(如500萬像素以上)與遠(yuǎn)心光學(xué)鏡頭,減少畸變。

幀率≥1000fps以支持動(dòng)態(tài)過程捕捉。

3、功能擴(kuò)展性:

光源系統(tǒng):可選配可調(diào)亮度/色溫光源與偏振光模式,消除反射干擾。

樣品臺(tái):支持電動(dòng)升降(行程≥50mm)、傾斜(±60°)及恒溫加熱。

自動(dòng)化模塊:電動(dòng)XYZ三軸位移臺(tái)實(shí)現(xiàn)多位置連續(xù)測(cè)量。

4、軟件功能:

支持圓擬合法、橢圓擬合法及Young-Laplace方程擬合等算法。

集成表面自由能計(jì)算模塊。

提供自動(dòng)批處理、CSV/Excel數(shù)據(jù)導(dǎo)出及圖像存檔功能。

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