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技術文章

關于顆粒污染物的表面清潔度檢測光源

閱讀:1074          發布時間:2024-8-20

關于顆粒污染物的表面清潔度檢測光源


為什么需要表面清潔管理?

我們相信,在管理 10,000 級(ISO 7 級)潔凈室(這是我們的領域)時,表面清潔度管理極其重要。造成這種情況的主要原因有兩個。

一是潔凈室的空氣潔凈度標準主要關注懸浮顆粒物,與落塵沉積物的數量沒有明顯的相關性,這是萬級環境中的通病。二是空氣潔凈度標準潔凈室的潔凈度主要是懸浮顆粒物,與累積的落塵數量沒有明顯的相關性,這是萬級環境中常見的問題,直接涉及的是表面污染。


關于 JACA No.42

2006年1月,日本清潔空氣協會公布了“如何表達和測量潔凈室和相關受控環境中顆粒污染物表面清潔度的指南"。 其“目的"指出:

潔凈室及相關受控環境的空氣潔凈度是通過懸浮顆粒污染物的數量濃度來定義的,但污染物引起問題的區域是產品和其他物體的表面...(略)...ISO/TC209/WG9嘗試標準化顆粒污染方面的表面清潔度。因此,迫切需要對顆粒污染物的表面清潔度進行標準化。


表面清潔度等級

潔凈室和潔凈區域表面顆粒的潔凈度等級。它以表面特定清潔度(SPC)等級N表示,表示目標粒徑的允許上限顆粒濃度(1 m2 表面中存在的顆粒數量)。


*目標粒徑原則上為0.05μm至500μm。


表面清潔度等級數

潔凈室和相關受控環境中的表面清潔度以 SPC N級表示。N由目標粒徑D下顆粒的允許上限濃度C SPC,D的對數確定,如下式所示。


C SPC,D = (10 N × (1.0/D)


此處,C SPC,D為測定粒徑以上的表面的粒子濃度(每1m 2表面的粒子數)的容許上限濃度。有效數字為 2 位。

N是定義在 1 到 8 范圍內的 SPC 類別號。中級課程最多可以使用一位小數。

D為測量的粒徑(μm);

1.0為常數(μm)

; 注:實際測量面積通常約為100 cm 2(0.01 m 2 )。

image.png

*摘自日本空氣凈化協會JACA第42-2006號“潔凈室和相關受控環境中顆粒污染物的表面清潔度表達和測量指南"


ISO表面清潔度等級

有一個基于 JACA No.42 的表面清潔度國際標準。即2012年發布的ISO14644-9《按顆粒濃度分類表面清潔度》。與JACA No.42類似,ISO也將表面清潔度分為1至8級。目標顆粒形狀、計算公式和測量單位幾乎相同。

然而,關于表面清潔度的名稱,JACA No.42將其稱為SPC(表面特殊清潔度),而ISO將其稱為SCP (按顆粒濃度計算的表面清潔度)。此外,ISO SCP 等級表不包括 0.2μm、2μm 和 20μm。


image.png
ISO14644-9 SCP類別表

粒子計數器無法確定掉落的灰塵量。

需要專用工具來評估表面清潔度。 C.S.C.銷售“RACCAR"粗粒子計數器和“DUSCAR?" 。



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