一、產品概述

頤光科技橢偏檢測機臺作為一種小型橢偏集成機臺，通過整體高度模塊化，電、氣路集成技術，實現不同橢偏測量模塊在線/離線式整體橢偏測量解決方案。

二、產品特點

■ 支持實驗室研究整體橢偏集成控制測量技術；

■ 支持產線大基片離線自定義多點掃描測量并輸出報告；

■ 支持多橢偏方案，多組合集成

■ 支持測頭模塊以及樣件機臺定制化

三、應用場景 

應用于科學研究中各種各向同性，異性薄膜材料的膜厚、光學常數以及一維、二維納米光柵的結構表征；工業領域新型光電器件行業所涉及的薄膜（配向膜、光刻膠、ITO、發光薄膜、封裝薄膜）全片離線化快速掃描測量。

參考設計方案 

高度整合橢偏技術方案

技術參數