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| 應用領域 | 化工,能源,汽車及零部件,電氣,綜合 |
|---|
瑞士VAT真空閥59024-GE01-0003
| 代碼段 | 含義 |
|---|---|
| 59024 | 系列：高真空角閥 |
| GE01 | 法蘭類型：ISO-KF40 |
| 0003 | 配置代碼：帶氣動執行器 |
| 參數 | 規格 |
|---|---|
| 真空范圍 | 10?? ~ 1000 mbar |
| 泄漏率 | ≤1×10?? mbar·L/s（氦檢） |
| 法蘭標準 | ISO-KF40（DN40） |
| 閥體材質 | 不銹鋼316L（EP拋光） |
| 密封材料 | 氟橡膠（FKM）/可選全金屬密封 |
| 驅動方式 | 氣動（工作壓力4~6 bar） |
| 響應時間 | ≤0.5秒（開/關） |
| 溫度范圍 | -20℃~150℃（標準型） |
超高真空設計：
金屬波紋管密封（零泄漏）
閥板采用錐面密封（10?? mbar級密封）
氣動執行器：
雙作用氣缸（需配電磁閥控制）
帶機械位置指示器
半導體設備：
晶圓傳輸腔體隔離
CVD/PVD工藝腔
科研裝置：
同步輻射光束線
粒子加速器真空系統
法蘭安裝：
扭矩限制：10 Nm（ISO-KF40卡箍）
需使用無氧銅密封圈（P/N: VAT-CU40）
氣路連接：
驅動氣口：G1/8"（建議使用氬氣吹掃）
| 信號 | 要求 |
|---|---|
| 開閥信號 | 24V DC（驅動電磁閥） |
| 關閥信號 | 彈簧復位（斷電自動關閥） |
| 項目 | 周期 | 操作 |
|---|---|---|
| 密封圈更換 | 2年或10?次循環 | 需專用夾具拆卸 |
| 波紋管檢查 | 1年 | 氦質譜儀檢測 |
| 驅動氣缸潤滑 | 6個月 | 使用PFE真空脂 |
| 品牌/型號 | 差異點 |
|---|---|
| VAT 59024-GE01-0004 | 電動執行器版 |
| Pfeiffer VAT 58500 | 直通閥，流量更大 |
| NorCal UHV-40 | 價格低20%，泄漏率略高 |
該型號標準交貨期為8-12周。如需 超高溫度版（300℃） 或 無磁版本，需額外增加6周定制周期。建議配套使用VAT 52X系列 電磁閥組實現自動控制。
瑞士VAT真空閥59024-GE01-0003
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