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| 應用領域 | 化工,能源,汽車及零部件,電氣,綜合 |
|---|
瑞士VAT真空閥 01034-KE01-0002
| 代碼段 | 含義 |
|---|---|
| 01034 | 系列：小口徑高真空角閥 |
| KE01 | 法蘭類型：ISO-KF16（DN16） |
| 0002 | 配置代碼：帶氣動執行器+位置傳感器 |
| 參數 | 規格 |
|---|---|
| 真空范圍 | 10?? ~ 1000 mbar |
| 泄漏率 | ≤1×10?? mbar·L/s（金屬密封） |
| 閥體材質 | 不銹鋼316L（EP拋光） |
| 密封選項 | 全金屬密封 / FFKM彈性體 |
| 驅動方式 | 氣動雙作用（4~6 bar） |
| 響應時間 | ≤0.3秒（開/關） |
| 溫度范圍 | -200℃~250℃（標準型） |
零泄漏設計：
金屬波紋管傳動（無動態密封泄漏風險）
錐面閥座密封（10?? mbar級密封）
智能反饋：
集成磁耦位置傳感器（PNP輸出）
LED狀態指示燈（紅/綠雙色）
分析儀器：
質譜儀進樣系統隔離
電子顯微鏡樣品室
半導體：
晶圓傳輸模塊（EFEM）
刻蝕設備氣體通路控制
法蘭連接：
扭矩限制：5 Nm（ISO-KF16卡箍）
密封圈：無氧銅墊圈（P/N: VAT-CU16）
氣路要求：
驅動氣體：氮氣或氬氣（純度≥99.999%）
管路過濾：0.1μm過濾器
| 端子 | 功能 |
|---|---|
| 1（棕色） | 24V DC+ |
| 2（藍色） | 0V |
| 3（黑色） | 閥開信號（PNP） |
| 4（白色） | 閥關信號（PNP） |
| 項目 | 操作 | 周期 |
|---|---|---|
| 密封面檢查 | 白光干涉儀檢測 | 1年/10?次循環 |
| 波紋管壽命 | 氦檢漏測試 | 5年或10?次循環 |
| 位置傳感器校準 | 閥位反饋調整 | 2年 |
| 代碼 | 含義 | 處理方案 |
|---|---|---|
| E01 | 傳感器信號丟失 | 檢查磁耦對齊 |
| E03 | 氣壓不足 | 確認驅動壓力≥4 bar |
| E05 | 超溫報警 | 檢查環境溫度是否超標 |
| 品牌/型號 | 差異點 |
|---|---|
| VAT 01034-KE01-0001 | 無位置傳感器 |
| Pfeiffer EVR 116 | 電動執行器，響應較慢 |
| NorCal UHV-16 | 價格低25%，泄漏率略高 |
該型號標準交貨期12周。如需 超高真空版（10?11 mbar） 或 無磁版本，需額外增加6周定制周期。建議配套使用VAT 52X系列 電磁閥組實現自動控制。
瑞士VAT真空閥 01034-KE01-0002
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