LiteScop 是一種特殊的原子力顯微鏡 (AFM)，"即插即用"，專為集成到掃描電子顯微鏡 (SEMs) 中而設計。

新穎的探針和電子顯微鏡關聯(CPEM) 技術可實現納米級精確的快速 AFM 和 SEM 數據關聯。

• 快速、即插即用地集成到 SEM 中

• 兼容FIB、GIS、EDX等標準 SEM 附件

• 高度可定制

• 也可用作獨立的原子力顯微鏡

關鍵技術優勢

1、復合且相關的樣品分析

關鍵的 CPEM 技術可以同時采集 AFM 和 SEM 通道并將它們無縫關聯到 3D圖像中。

2、原位樣品表征

SEM 內部的原位條件可確保在相同時間、相同地點和相同條件下進行樣品分析。

3、精確定位感興趣區域

極其精確和省時的方法使用 SEM 將 AFM 針尖導航到感興趣的區域，從而實現快速和輕松的定位。