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設備主要規格參數：

1. 最小可檢漏率（真空模式）：5×10-13Pa·m3/s

2. 最小可檢漏率（吸槍模式）：1×10-7 Pa·m3 /s

3. 檢漏口壓力：Gross:1500 Pa; Fine:200 Pa; Ultra:40 Pa

4. 粗抽能力：14.5m 3 /h

5. 氦氣抽速（Gross模式）：8 l/s

6. 氦氣抽速（Fine模式）：7 l/s

7. 氦氣抽速（Ultra模式）：2.5 l/s

8. 檢漏口規格：DN 25 ISO-KF

9. 啟動時間： ≤160s

設備主要規格參數：

1. 最小可檢漏率（真空模式）：5×10-13Pa·m3/s

2. 最小可檢漏率（吸槍模式）：1×10-7 Pa·m3 /s

3. 檢漏口壓力：Gross:1500 Pa; Fine:200 Pa; Ultra:40 Pa

4. 粗抽能力：14.5m 3 /h

5. 氦氣抽速（Gross模式）：8 l/s

6. 氦氣抽速（Fine模式）：7 l/s 7. 氦氣抽速（Ultra模式）：2.5 l/s 8. 檢漏口規格：DN 25 ISO-KF 9. 啟動時間： ≤160s

四、技術服務及要求： 1. 供方負責調試、檢驗并交付儀器； 2. 供方現場對操作維護人員進行技術培訓； 3. 質保期為1年，自發貨之日起十日計算，保修期內免費提供服務，