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在電力設備運行中，當發生局部放電時，電子、正負離子等各種帶電粒子在電場的刺激下，一般比聚合物的鍵能具有更多的能量。這些帶電粒子撞擊電介質氣隙壁，破壞絕緣體穩定的化學鍵。同時，局部放電點的介質加熱會產生高的溫度，會引起絕緣體的熱裂或促進氧化裂化，從而破壞絕緣體的分子結構。
高壓開關柜是由環氧樹脂、六氟化硫、工程塑料等多種材料組成的組合電器裝置，造成局部放電的原因有很多，常見的有以下幾種：
(1)絕緣材料制造過程中的缺陷。
由于絕緣結構和工藝等多種因素的影響，絕緣體中可能存在殘留氣泡或雜質，氣體的介電常數往往小于液體或固體材料的介電常數。在交變電場下，電場強度的分布與介電常數成反比。因此，如果液體或固體介質中存在氣泡，則氣泡內的電場強度高于周圍介質的電場強度，但擊穿電場強度遠低于液體或固體的電場強度。這樣，氣泡首先被分解并放電，而其他電介質保持絕緣，形成典型的局部放電。
(2)電場分布不均勻。
導體表面的毛刺或尖角會使電場集中，導致局部放電。然而，金屬顆粒可以帶入開關設備的制造和組裝中。機柜內的這些顆粒具有很強的電荷積累能力，導致該區域的電場畸變和放電；如果開關柜絕緣子表面灰塵過多或不夠光滑，會導致爬電距離不足，導致局部放電；即使在接地的外殼上，如果焊縫粗糙，表面有氣孔或夾渣，電場分布不均勻，也會發生局部放電。
(3)電介質不均勻。
隨著絕緣技術的發展，大氣絕緣和復合絕緣的高壓金屬封閉開關設備是應用廣泛的產品。然而，正是復合絕緣技術的使用導致了絕緣材料各部分介電性能的差異。絕緣材料制造過程中引入的氣泡和雜質進一步使介質分布不均勻，導致在高壓環境下放電。
此外，母線毛刺、電壓、溫度、濕度、絕緣條件和外部環境都會影響局部放電。
