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檢測(cè)儀器: 邵氏硬度計(jì) 粗糙度儀測(cè)厚儀探傷儀壓縮空氣質(zhì)量檢測(cè)儀空氣顆粒物檢測(cè) 熱式風(fēng)速儀氣體泄漏檢測(cè) 溫濕度變送器氣體品質(zhì)檢測(cè) 氣體檢測(cè)儀氧化鋯分析儀其他檢測(cè)儀器微量氧分析儀 VOC檢測(cè)儀熱值儀

控制儀表: 顯示大屏定量控制儀稱重顯示儀流量積算儀

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水質(zhì)分析儀器: 綜合水質(zhì)分析儀電導(dǎo)率溶解氧余氯濁度儀多參數(shù) PH計(jì)

水中臭氧分析儀470是zuix進(jìn)的溶解臭氧測(cè)量模塊，為半導(dǎo) 體濕法處理和許多其他工業(yè)過程設(shè)計(jì)。它能夠提供去離子水或硫酸中濃度高達(dá)150mg/L 的溶解臭氧測(cè)量。470已完成“預(yù)備清潔"，能夠滿足高純度半導(dǎo)體過程的需求，并且可簡(jiǎn)單的直接拼接進(jìn)任何濕法處理的環(huán)流回路中，最高支持150 SLPM的流量。 470型傳感器使用雙路取樣傳感技術(shù)，達(dá)到了wu與倫比的性能，且擺脫了對(duì)參比液體測(cè) 量的需求

水中臭氧分析儀470是zuixian進(jìn)的溶解臭氧測(cè)量模塊，為半導(dǎo) 體濕法處理和許多其他工業(yè)過程設(shè)計(jì)。它能夠提供去離子水或硫酸中濃度高達(dá)150mg/L 的溶解臭氧測(cè)量。470已完成“預(yù)備清潔"，能夠滿足高純度半導(dǎo)體過程的需求，并且可簡(jiǎn)單的直接拼接進(jìn)任何濕法處理的環(huán)流回路中，最高支持150 SLPM的流量。 470型傳感器使用雙路取樣傳感技術(shù)，達(dá)到了wu與倫比的性能，且擺脫了對(duì)參比液體測(cè) 量的需求。通常的安裝僅僅包括470傳感器和特氟龍7包裹的內(nèi)部連接電纜。470傳感器能夠通過模擬或數(shù)字信號(hào)向濕法處理過程控制臺(tái)遠(yuǎn)程報(bào) 告測(cè)量的濃度。

水中臭氧分析儀技術(shù)指標(biāo)

測(cè)量原理：紫外吸收法，雙路取樣傳感技術(shù)
紫外光源：低壓汞燈
測(cè)量單位：ppmw, mg/L
量程：高達(dá)150 mg/L (150 ppmw)
精度：0.5mg/L 或 1%讀數(shù) (以較大值為
準(zhǔn)）
水流量：高達(dá)150 SLPM
采樣端口：1", 3/4", 3/8" Flaretek 連接
最大壓強(qiáng) ：55 PSI
接觸材料：特氟龍, 藍(lán)寶石, 與半導(dǎo)體流程相容

外殼：聚四氟乙烯特氟隆
尺寸：5.69" 寬 x 6.8" 高 x 3.2" 長(zhǎng) - 垂直固定 (144 x 171 x 82 mm)
維護(hù) ：紫外燈每24個(gè)月替換一次無其他預(yù)定維護(hù)
電纜：特氟龍外層
電源：+15 VDC
認(rèn)證：CE 認(rèn)證
模擬輸出：4到20mA或0到5VDC，出廠時(shí)選擇
數(shù)字 I/O ：RS-232 或 RS485，出廠時(shí)選擇
遠(yuǎn)程校零：通過DB15進(jìn)行遠(yuǎn)程零點(diǎn)校準(zhǔn)

產(chǎn)品特點(diǎn)

現(xiàn)場(chǎng)檢測(cè)
在線且全流量監(jiān)測(cè)
直線通過的流型
無移動(dòng)部件
無消耗品
測(cè)量范圍最高達(dá)150 mg/L
遠(yuǎn)程零點(diǎn)校準(zhǔn)
高精度紫外吸收法
雙光道采樣感應(yīng)技術(shù)
不需求日常維護(hù)
半導(dǎo)體級(jí)別濕式材料
緊湊的特氟龍外殼
特氟龍7包裹的內(nèi)部連接電纜

應(yīng)用

液態(tài)溶解臭氧
半導(dǎo)體濕法清洗系統(tǒng)
超純水系統(tǒng)
制藥業(yè)
水處理
其他工業(yè)過程

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