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半導體設備真空腔高精度測溫系統Vac.TEMP TS
1、精密測溫NTC傳感器；
2、真空貫通法蘭；
3、精密多通道測溫儀；
4、溫度采集分析軟件DAQ TEMP。
半導體設備真空腔高精度測溫系統精密NTC測溫傳感器技術規范 |
名稱 | 指標 |
標稱電阻 | 10000Ω@25℃ |
絕對精度 | ≤10、5、1mK |
重復精度 | ≤1mK@30min、1Hz |
年漂移量 | ＜10、5、1mK |
線制 | 4線 |
探頭封裝 | 316L圓柱封裝或定，內部填充不留氣，不漏氣 |
引線材質 | PTFE（真空） |
響應時間 | ≤1s |
探頭尺寸 | ≤φ2.0*10mm |
連接器 | DB |
真空饋通 | 法蘭 |
引線端子 | 智能航插 |
校準 | 提供校準報告 |
| 溫度采集儀618A/NTC技術規范 |
名稱 | 指標 |
溫度校準范圍 | 16-70℃ |
測量模塊絕對精度 | ≤10、5、1mK@1Hz/通道 |
測量模塊年漂移 | ≤10、5、1mK |
測量通道數量 | 4、8、16、32、120個可選 |
采樣頻率 | 可調，最大≥10Hz/通道 |
激勵電流 | ≤10uA |
運行/故障指示燈 | 是 |
單通道獨立控制 | 是 |
輸入 | 4線制NTC |
通訊接口 | LAN/RS485/USB |
通訊協議 | Modbus RTU |
數據格式 | 機器時間-對應通道的溫度值 |
設備記錄時間功能 | 有內部時鐘，采集頻率＜1Hz時，時間差≤0.1s |
測溫探頭接口 | 航空插頭 |
軟件 | 配套DAQ數據采集軟件 |
供電電源 | AC220V適配器 |
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