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掩膜無線測溫系統光掩膜又稱光罩，是微電子制造中光刻工藝所使用的圖形母版，由不透明的遮光薄膜在透明基板上形成掩膜圖形，并通過曝光將圖形轉印到產品基板上。在半導體芯片加工制造過程中,光掩膜版表面的溫度均勻性要求非常高，需要嚴格的溫度測量和控制。掩膜無線測溫系統用于準確測量光掩膜版的溫度分布。
掩膜無線測溫系統產品特點主要技術參數
1. 體積小、精度高、采樣速度快；
2. 溫度準確度高達1mK；
3. 采用無線通訊方式，響應時間短。
掩膜無線測溫系統
溫度范圍 | 0℃ ~ 30℃ |
溫度準確度 | 1mK（3σ） |
重復測量準確度 | ＜2mK（3σ） |
傳感器響應時間 | ≤1s |
采集頻率 | max.4Hz |
連續工作時間 | ≥100min |
傳感器數量 | 14 |
通訊方式 | Wifi |
保修期 | 1年 |
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