一種基于壓電控制閥的MEMS質量流量控制器
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- 發(fā)證機構：
- 國家知識產權局
- 生效日期：
- 2021-12-07
- 截止日期：
- 長期
認證簡介：
一種基于壓電控制閥的MEMS質量流量控制器
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