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上海攸亦光電科技有限公司
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Edmund 極紫外 (EUV) 二向色濾光片

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌其他品牌

廠商性質(zhì)代理商

所  在  地上海市

更新時(shí)間:2022-06-27 13:54:29瀏覽次數(shù):1883次

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組件類(lèi)別 光學(xué)元件
Edmund 極紫外 (EUV) 二向色濾光片,也稱(chēng)為光束分離器,旨在通過(guò)在 EUV 和 NIR 波長(zhǎng)之間提供高分離效率,用于高諧波產(chǎn)生應(yīng)用。 這些濾光片采用高損傷閾值多層增透膜設(shè)計(jì),支持比布魯斯特角光束分離器和 EUV 濾光片更高的激光功率。 EUV 二向色濾光片具有從 5nm 到 40nm 的寬帶寬范圍。

Edmund 極紫外 (EUV) 二向色濾光片

  • 將 EUV 與 NIR 激光源分開(kāi)

  • 透射型熔融石英設(shè)計(jì)最大限度地延長(zhǎng)組件使用壽命

  • 支持 13.5nm、20nm 和 30nm 應(yīng)用

Edmund 極紫外 (EUV) 二向色濾光片,也稱(chēng)為光束分離器,旨在通過(guò)在 EUV 和 NIR 波長(zhǎng)之間提供高分離效率,用于高諧波產(chǎn)生應(yīng)用。 這些濾光片采用高損傷閾值多層增透膜設(shè)計(jì),支持比布魯斯特角光束分離器和 EUV 濾光片更高的激光功率。 EUV 二向色濾光片具有從 5nm 到 40nm 的寬帶寬范圍。 除了產(chǎn)生高次諧波外,這些反射鏡還可用于支持 EUV 應(yīng)用的系統(tǒng),例如 EUV 光刻、EUV 納米加工和等離子體實(shí)驗(yàn)。

通用規(guī)格


尺寸容差 (mm):+0.0/-0.2直徑 (mm):50.80
厚度 (mm):5.08 ±0.1鍍膜:Dielectric Multilayer AR
基底:Fused Silica表面質(zhì)量:20-10
平行度(弧分):<5面形計(jì)算 (RMS):<λ/10 @ 633nm


產(chǎn)品型號(hào)


波長(zhǎng)范圍 (nm)產(chǎn)品編碼
10 - 25#18-279
20 - 40#18-280


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