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| 產地類別 | 國產 | 產品種類 | 電動 |
|---|---|---|---|
| 價格區間 | 面議 | 應用領域 | 綜合 |
FMSS系列方臺面整體平移臺
l行程覆蓋38mm、48mm
l?形臺面設計
l集成式?體化交叉滾柱導軌
l靜音位移臺
l免費標準版SDK
l高性能控制器
l可選配EtherCAT總線控制
產品簡介
FMSS系列方臺面整體平移臺：精度高和機身尺寸小兼而有之的運動控制產品非常難于設計。我們經過三年研發，反復測試，終于推出了該系列產品，并成功應?于商業化原子力顯微鏡。FMSS系列產品采?進口直線電機，集成?體式交叉滾柱導軌和光柵尺，速度均勻性波動在千分之?以內。在保證精度、承載前提下，將體積壓縮至最小。
產品應用
l激光打靶
l晶圓打磨
l激光工業
l醫美醫療
l高級儀器設備
l原?力顯微鏡
性能實測
接線定義
電機接?
反饋接?
產品圖紙
FMSS90C-38
FMSS125C-48
產品參數
Model | FMSS90C-38 | FMSS125C-48 |
行程(mm) | 38 | 48 |
負載(Kg) | 4 | 10 |
分辨率(μm) | 0.1 | 0.1 |
最?步進量(μm) | 0.3 | 0.3 |
單向重復定位精度/保證值(μm) | ±0.3 | ±0.5 |
單向重復定位精度/典型值(μm) | ±0.2 | ±0.3 |
雙向重復定位精度/保證值(μm) | ±0.6 | ±1 |
雙向重復定位精度/典型值(μm) | ±0.3 | ±0.5 |
定位精度/保證值(μm) | ±2 | ±2 |
定位精度/典型值(μm) | ±0.5 | ±0.5 |
最?速度(mm/s) | 100 | 100 |
直線度(μm) | 5 | 5 |
平整度(μm) | 5 | 5 |
偏擺(arcsec) | 10 | 10 |
俯仰(arcsec) | 10 | 10 |
持續推力(N) | 6 | 17.6 |
峰值推力(N) | 24 | 88 |
重量(kg) | 1.1 | 2.1 |
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