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硅片厚度傳感器（SIT-200）中與寬帶光源不同，SIT-200使用高速掃描可調諧激光器探測被測晶圓。這使得每波長的功率測量更高，從而產生更高的動態(tài)范圍。結果，例如在濕蝕刻期間/之后，甚至可以在未拋光的晶圓上執(zhí)行厚度測量。
硅片厚度傳感器（SIT-200）的主要特點有：
硅片厚度傳感器（SIT-200）的主要特點有：
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