實驗室光刻機產品參數 ：
1.曝光面積:160mm*160mm
2.曝光分辨率:接觸式曝光0.8um-1um
3.對準精度:±1-1.5um
4.光源強度:35mW/cm2
5.UV光源:進口LED模塊
6.曝光中心波長:365nm
7.光源壽命:1萬小時，光源平行性:≤2°
8.曝光分辨率:接觸式曝光0.8um-1um
9.照度不均勻性:≤3%
10.曝光設定:定時
11.可執(zhí)行曝光模式:真空接觸、硬接觸、壓力接觸、接近式
12.間隙設定方式:數字設定曝光間隙0-1200um
13.可調，可自動分離和消除間隙
14.樣片、掩模版相對移動范圍:X:±5mm，Y:±5mm,0=±6°
15.掩模版找平方式:球氣浮自動找平
16.可支持掩模版尺寸:3"x3"、4"x4"、5"x5"、7"x7"各一件
17.標配承片臺:2英寸、3英寸、4英寸、6英寸
18.標準配件可兼容樣片厚度:0.1-5mm，其他尺寸可定制
19.對準系統(tǒng):光學+CCD,顯微倍數:放大倍率:150倍-720倍可調
20.雙物鏡可調距離范圍:30mm-120mm
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