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紫外光刻機強力助攻微納器件制備
閱讀：1601 發布時間：2022-6-8
紫外光刻機新一代紫外光源：172nm，具有同類產品良好的輸出強度，3%的可用孔徑，弧光燈使用壽命更長。暴露高達30000次，瞬間啟動，無需超凈室，內置凈化系統可使系統在大氣環境中工作，無需主動冷卻和外部冷卻，無有毒氣體和汞等物質。高光能轉換率（EVU僅為0.02%），節能；傳統的UV處理會存在以上問題。光刻操作可以在幾分鐘內完成，維護簡單，幾乎不需要培訓。
1、微米級高分辨率投影光刻。
2、實現無遮罩任意圖案書寫，所見即所得，即時。
3、200mm行程拼接，100nm拼接精度。
4、視覺引導光斑，支持雕刻。
5、全自動操作，圖形縮放、旋轉、定位、掃描、拼接均由軟件完成。
紫外光刻機紫外投影光刻技術將特定形狀的光斑投射到涂在器件表面的光刻膠上。光刻膠的照射區域會產生化學變化。曝光顯影后，可形成微米級精密圖案；通過進一步的蝕刻或蒸發，可以在樣品表面形成所需的結構。UV投影光刻作為材料、器件、微結構和微器件的常用制備技術，廣泛應用于微納米結構制備、半導體器件電極制備、太赫茲/毫米波器件制備、光學掩模制備、PCB制造等應用。
傳統的UV投影光刻機需要先制作掩模版，耗材成本高，制備周期長，難以滿足材料和器件實驗室對靈活性和實驗進度的要求。近年來開發的紫外光刻機技術突破了這一技術限制，實現了任意形狀編程和全自動高精度大面積拼接的無掩模光刻，隨時將您的設計轉化為實際的成品，大大減少了開發和測試周期，強有力的助攻微納器件制備的“臨門一腳”。