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美國SRS RGA系列殘余氣體分析儀
RGA系列殘余氣體分析儀可以定量和定性分析出真空腔中殘余氣體的濃度和成分。
RGA系列殘余氣體分析儀可以定量和定性分析出真空腔中殘余氣體的濃度和成分。
• 100，200，和300amu 優于1amu 的分辨率6 個量級的動態范圍可檢測5 x 10-14Torr
殘余氣體分析儀（RGA）劃分為RGA100、RGA200、RGA300amu三種型號，其優異的性能和價值是真空分析儀的產品。每一個RGA 系統都由一個四級桿探針和電子控制單元組成，實時分析windows 軟件包可以更方便用于數據采集和分析，并可進行遠程控制。
探測器類型 | 標準法拉第杯(FC), 可選電子倍增 (EM) |
分辨率 | 優于0.5amu |
靈敏度(A/Torr) | 2 × 10?4 (FC), <200 (EM) |
探測極限 | 5 × 10?11 Torr (FC), 5 × 10?14 Torr (EM) |
測試范圍 | 10?4 Torr to UHV (FC) 10?6 Torr to UHV (EM) |
操作溫度 | 70℃ (max.) |
工作溫度 | 300℃ (without ECU) |
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