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了解場發射掃描電子顯微鏡的原理、優點及檢測范圍
閱讀：7266 發布時間：2021-12-4
什么是場發射掃描電子顯微鏡？其實它是電子顯微鏡的一種，掃描電鏡是介于透射電鏡和光學顯微鏡之間的一種微觀形貌觀察手段，可直接利用樣品表面材料的物質性能進行微觀成像。廣泛用于生物學、醫學、金屬材料、高分子材料、化工原料、地質礦物、商品檢驗、產品生產質量控制、寶石鑒定、考古和文物鑒定及公安刑偵物證分析?？梢杂^察和檢測非均相有機材料、無機材料及在上述微米、納米級樣品的表面特征。
一、工作原理：
場發射掃描電子顯微鏡的原理是利用二次電子或背散射電子成像，對樣品表面放大一定的倍數進行形貌觀察，同時利用電子激發出樣品表面的特征X射線來對微區的成分進行定性定量分析，是我們材料研究分析中一雙亮麗的“眼睛”。
掃描電鏡按照電子槍分類可以分為鎢(W)燈絲、六硼化鑭(LaB6)燈絲、場發射(FieldEmission)三種，場發射掃描電鏡相比于鎢燈絲、六硼化鑭，具有電子束斑小、高分辨率、穩定性好等特點。
二、優點：
1、有較高的放大倍數，20-30萬倍之間連續可調；
2、有很大的景深，視野大，成像富有立體感，可直接觀察各種試樣凹凸不平表面的細微結構；
3、試樣制備簡單，目前的掃描電鏡都配有X射線能譜儀（EDS）裝置，這樣可以同時進行顯微組織形貌的觀察和微區成分分析。
三、檢測范圍：
1、金屬、陶瓷、高分子、礦物、半導體、紙張、化工產品的顯微形貌觀察及材料的晶體結構、相組織分析;
2、各種材料微區化學成分的定性定量檢測;
3、粉末、微粒、納米樣品形態觀察和粒度測定;
4、機械零件與工業產品的失效分析;
5、鍍層厚度、成分與質量測定;
6、生物、醫學和農業等領域。