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3D光學干涉輪廓儀

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  • 型號 NanoX-2000/3000
  • 品牌 其他品牌
  • 廠商性質 代理商
  • 所在地 蘇州市
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更新時間:2022-03-16 17:26:06瀏覽次數(shù):2010

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)地類別 國產(chǎn) 產(chǎn)品種類 非接觸式輪廓儀/粗糙度儀
價格區(qū)間 面議 應用領域 醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,能源,航空航天,綜合
NanoX-2000/3000 系列3D光學干涉輪廓儀建立在移相干涉測量(PSI)、白光垂直掃描干涉測量(VSI)和單色光垂直掃描干涉測量(CSI)等技術的基礎上,以其納米級測量準確度和重復性(穩(wěn)定性)定量地反映出被測件的表面粗糙度、表面輪廓、臺階高度、關鍵部位的尺寸及其形貌特征等。廣泛應用于集成電路制造、MEMS、航空航天、精密加工、表面工程技術、材料、太陽能電池技術等領域。

詳細介紹

NanoX-2000/3000系列3D光學干涉輪廓儀建立在移相干涉測量(PSI)、白光垂直掃描干涉測量(VSI)和單色光垂直掃描干涉測量(CSI)等技術的基礎上,以其納米級測量準確度和重復性(穩(wěn)定性)定量地反映出被測件的表面粗糙度、表面輪廓、臺階高度、關鍵部位的尺寸及其形貌特征等。廣泛應用于集成電路制造、MEMS、航空航天、精密加工、表面工程技術、材料、太陽能電池技術等領域。


NanoX-2000/3000系列3D光學干涉輪廓儀優(yōu)勢

 

?美國硅谷研發(fā)的核心技術和系統(tǒng)軟件

?關鍵硬件采用美國、德國、日本等品牌

?PI納米移動平臺及控制系統(tǒng)

?Nikon干涉物鏡

?NI信號控制板和Labview64控制軟件

?TMC光學隔振臺

?測量準確度重復性達到高級水平(中國計量科學研究院證書)

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