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渦流法硅片方阻電阻率
  • 渦流法硅片方阻電阻率
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貨物所在地:江蘇蘇州市

更新時間:2024-10-17 10:49:18

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專注于非接觸式半導體計量分析技術(shù)的開發(fā)和生產(chǎn) ,攻克被國外卡脖子技術(shù)。

       產(chǎn)品廣泛應用于半導體、光伏、科研以及平板材料測試領域。借助公司*計量分析測試技術(shù),為晶圓、碳化硅、硅片、封裝測試等生產(chǎn)和品質(zhì)監(jiān)控,提供一整套完整測試和解決方案。

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晶錠電阻率分析儀

少子壽命

參數(shù)

方阻

電阻率(厚度180um)

方法

探頭量程

1-600Ω/¨

0.018-10.8 Ω?cm

渦流法

探頭性能

動態(tài)重復性

靜態(tài)重復性

示值誤差

1-80Ω/¨0.018 - 1.44Ω?cm < 0.2%

<0.01%

±1%

80-120Ω/¨1.44 - 2.16Ω?cm < 0.3%

120-300Ω/¨2.16 - 5.4Ω?cm < 0.5%

300-600Ω/¨5.4 - 10.8Ω?cm< 1%

外形尺寸

上探頭Ф20*145mm

下探頭Ф20*50mm

信號采集

采樣率:1500Sps

采樣個數(shù):512點/單次

采樣緩存:8級數(shù)據(jù)記錄緩存

數(shù)據(jù)傳輸:RS232 RS485CANTCP/IP

傳輸協(xié)議:Modbus Rtu/ Modbus Tcp 用戶自定義協(xié)議等

供電電源

24V/1A





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