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RF-300I-LD-300W小型自動匹配型射頻電源
  • RF-300I-LD-300W小型自動匹配型射頻電源
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貨物所在地:遼寧沈陽市

更新時間:2025-02-17 08:09:40

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300W小型自動匹配型射頻電源RF-300I-LD將自動匹配器和13.56MHz的射頻電源集成在一起,可以自動匹配容抗和感抗,使得安裝和操作更加方便容易。配用本司的磁控濺射頭可自行搭建磁控濺射鍍膜儀。

產品型號

  300W小型自動匹配型射頻電源RF-300I-LD

技術參數

  1、電源:AC 110V-240V 50Hz/60Hz

  2輸入功率:5W-300W(可調),穩定性±1%        

  3射頻頻率:13.56MHz,穩定性±0.005%

  4、匹配:自動匹配,空氣電容

  5、冷卻:空氣冷卻

  6、噪音:<50dB

產品規格

  尺寸:480mm×400mm×140mm

 

可選配件

  12"高真空磁控濺射頭,可自行搭建RFDC濺射鍍膜儀。

          

  2、同時購買300W射頻發射器和2"磁控濺射頭時,本司贈送1個高真空快速接頭。接頭內徑為0.75",可將濺射

  頭安裝在真空腔體上,真空腔體上的安裝孔直徑為1",真空腔體的壁厚不得大于1"

        

  3、循環水冷機,流量為16L/min,水箱容積為6L

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