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電子遷移率光譜儀的使用應(yīng)用情況，要了解清楚
閱讀：302 發(fā)布時(shí)間：2022-11-21
電子遷移率光譜儀用于檢測(cè)空氣分子級(jí)污染，在監(jiān)測(cè)到含酸類、胺類、氨以及氯化物氣體時(shí)提醒用戶。它具有ppt級(jí)的靈敏度，傳感器反應(yīng)迅速、監(jiān)測(cè)選擇性廣、性能穩(wěn)定。傳感器配有zhong央控制軟件，可以輕松地采集分析數(shù)據(jù)。傳感器提供連續(xù)可追溯的數(shù)據(jù)，來快速回應(yīng)污染源和污染事件。
電子遷移率光譜儀操作規(guī)程
1、首先檢查光譜儀后面的電源開關(guān)、光源開關(guān)是否處于關(guān)閉狀態(tài),如因停電等原因而處于開啟，必須先關(guān)閉。然后打開墻上的磁力開關(guān)，開啟穩(wěn)壓器開關(guān)，等電壓穩(wěn)定后再打開光譜儀的電源開關(guān)、光源開關(guān)。啟動(dòng)計(jì)算機(jī)，打開氬氣過濾器電源，打開氬氣瓶總閥，將出端壓力調(diào)整到0.55Mp。
2、雙擊分析圖標(biāo)進(jìn)入分析界面。計(jì)算機(jī)下方的空氣室溫度顯示、UV室溫度顯示到達(dá)加熱溫度后方可進(jìn)行分析。
3、ICAL（大曲線）校正
按F7，用ICAL專用樣塊分析校正，做五次，每次數(shù)據(jù)應(yīng)接近，不好的數(shù)據(jù)可刪除重做。
4、類型校正方法：（標(biāo)樣校正）點(diǎn)F8(測(cè)量類型校正)，點(diǎn)標(biāo)樣,點(diǎn)Yes,按F2開始.做三次,用F9存盤(平均值)。
應(yīng)用
在蝕刻技術(shù)位置里的實(shí)時(shí)腐蝕監(jiān)測(cè)
在關(guān)鍵的光刻系統(tǒng)內(nèi)的實(shí)時(shí)胺類以及氨的監(jiān)測(cè)
化學(xué)過濾器有效率的資格確認(rèn)
遍及潔凈室以及生產(chǎn)工具里的污染源的追蹤和去除
前端開口片盒圓晶片存儲(chǔ)模塊內(nèi)的污染分析