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桌面型掃描電鏡采用肖特基場(chǎng)發(fā)射電子源，三級(jí)獨(dú)立真空設(shè)計(jì)，優(yōu)于2.5nm的分辨率滿足多數(shù)樣品微納結(jié)構(gòu)表征需求。標(biāo)配大束流及大樣品倉(cāng)，支持原位功能樣品臺(tái)及EDS/EBSD拓展。

詳細(xì)介紹

    ZEMUltra臺(tái)式掃描電鏡采用肖特基場(chǎng)發(fā)射電子源，三級(jí)獨(dú)立真空設(shè)計(jì)，優(yōu)于2.5nm的分辨率滿足多數(shù)樣品微納結(jié)構(gòu)表征需求。標(biāo)配大束流及大樣品倉(cāng)，支持原位功能樣品臺(tái)及EDS/EBSD拓展。

    •產(chǎn)品特色：

    ▲易用性強(qiáng)

    ▲全自動(dòng)操作

    ▲肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍

    ▲高穩(wěn)定性

    ▲高分辨觀測(cè)

    ▲豐富拓展

    •應(yīng)用案例：

金顆粒150000X （左）碳納米管 20000X（右）

磷酸鐵鋰 30000X（左）二氧化硅 100000X（右）

•產(chǎn)品參數(shù)：

主要指標(biāo)	ZEM Ultra
分辨率	≤2.5 nm
放大倍數(shù)	50萬(wàn)倍
圖像像素尺寸（默認(rèn)）	512512（視頻）20482048（拍照）
加速電壓	1-15kv連續(xù)可調(diào)
燈絲類(lèi)型	場(chǎng)發(fā)射燈絲
電動(dòng)樣品臺(tái)	XY二軸/XYZ三軸/XYT三軸/五軸
探測(cè)器類(lèi)型	BSE、SE、EDS
減速模式	選配（0-10kv樣品臺(tái)電壓減速）
光學(xué)導(dǎo)航	光學(xué)導(dǎo)航、倉(cāng)內(nèi)相機(jī)
樣品倉(cāng)內(nèi)部尺寸	176mm寬185mm長(zhǎng)125mm高
自動(dòng)功能	自動(dòng)亮度對(duì)比度、自動(dòng)聚焦、大圖拼接
原位臺(tái)拓展功能	具備