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　　微位移導(dǎo)向機(jī)構(gòu)用來傳遞驅(qū)動(dòng)器的運(yùn)動(dòng)和力，保證運(yùn)動(dòng)平臺(tái)能按照一定的自由度產(chǎn)生所需的位移，包括支撐結(jié)構(gòu)與放大機(jī)構(gòu)。常用的微位移導(dǎo)向機(jī)構(gòu)有以下幾種：

　　滾動(dòng)導(dǎo)軌是在兩導(dǎo)軌面間放入滾針、滾珠和滾柱等滾動(dòng)體，靠滾動(dòng)摩擦進(jìn)行運(yùn)動(dòng)。滾動(dòng)導(dǎo)軌的優(yōu)點(diǎn)是摩擦阻力較小，導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)靈敏，行程大、工藝學(xué)好，定位精度較高，可達(dá)微米量級(jí)；缺點(diǎn)是點(diǎn)線接觸，接觸應(yīng)力大，對(duì)污物比較敏感，需要很好的防護(hù)，其結(jié)構(gòu)比滑動(dòng)導(dǎo)軌復(fù)雜，制造成本高。納米位移臺(tái)采用閉循環(huán)系統(tǒng)實(shí)際操作，電動(dòng)位移臺(tái)，大行程安排是20cm，緊湊型的設(shè)計(jì)方案能夠出示毫米的產(chǎn)生，本身負(fù)荷力大，能夠負(fù)荷300g。采用單一精準(zhǔn)定位設(shè)備能夠完成粗靠近和細(xì)致掃描儀二種實(shí)際操作，電動(dòng)位移臺(tái)安裝，再加其有非常高的可靠性，因此不容易存有機(jī)械設(shè)備灑脫的狀況。

　　滑動(dòng)導(dǎo)軌是一種支撐件和運(yùn)動(dòng)間直接接觸、作滑動(dòng)摩擦運(yùn)動(dòng)的普通導(dǎo)軌。滑動(dòng)導(dǎo)軌的優(yōu)點(diǎn)是結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、使用維護(hù)方便；缺點(diǎn)是未形成液體摩擦?xí)r低速易爬行、磨損大、壽命短、運(yùn)動(dòng)精度不穩(wěn)定。一般較少在微納定位系統(tǒng)中使用。

　　納米位移臺(tái)是現(xiàn)階段精密度較高的檢測(cè)儀器，普遍用以各種各樣規(guī)定較為高的場(chǎng)地，非常是真空泵和超低溫場(chǎng)地，應(yīng)用它能夠開展精確的精確測(cè)量。

　　帶電容式傳感器，實(shí)現(xiàn)亞納米分辨率電容式傳感器以亞納米分辨率進(jìn)行測(cè)量，且無接觸。它們可確保優(yōu)異的運(yùn)動(dòng)線性、長(zhǎng)期穩(wěn)定性和千赫茲范圍的帶寬。

　　納米位移臺(tái)自動(dòng)配置和快速部件更換機(jī)械部件和控制器可按需組合、快速更換。所有伺服和線性化參數(shù)均存儲(chǔ)在機(jī)械部件的Sub-D連接器的ID芯片中。每當(dāng)控制器啟動(dòng)時(shí)，數(shù)字控制器的自動(dòng)校準(zhǔn)功能就會(huì)使用這些數(shù)據(jù)。