產品簡介
DN 系列探針臺,是一款適用于 4-12 英寸晶圓的精密探針臺。 該系列探針臺采用高剛性顯微鏡龍門設計,結構穩定 ,顯微鏡平移臺可進行 X-Y-Z 方向精密位移調節,顯微鏡放大倍率高,操作方便 , 同時支持多種功能的升級,非常適合晶圓級的測試應用。該產品主要應用于集成電路、 芯片、MEMS 器件、 管芯晶圓、 LED、 LCD、 太陽能電池等行業的測試及研究領域。
詳細介紹
DN 系列探針臺,是一款適用于 4-12 英寸晶圓的精密探針臺。 該系列探針臺采用高剛性顯微鏡龍門設計,結構穩定 ,顯微鏡平移臺可進行 X-Y-Z 方向精密位移調節,顯微鏡放大倍率高,操作方便 , 同時支持多種功能的升級,非常適合晶圓級的測試應用。該產品主要應用于集成電路、 芯片、MEMS 器件、 管芯晶圓、 LED、 LCD、 太陽能電池等行業的測試及研究領域。
產品優勢:
顯微鏡具備高剛性龍門支架且搭配氣動升降,保證高質量光學成像質量。
卡盤同時具備快速和微調升降,便于樣品和探針快速分離,也可以用于探針卡的扎針。
可升級性強,可升級 220G 高頻,也可以集成光電流掃描成像或拉曼-瞬態熒光壽命成像系統等。