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產品簡介
詳細介紹
產品簡介：
雙面點針探針臺 鏤空或高透光玻璃設計 可用于晶圓和PCB板測試，用于需要正面和背面同時扎針，以實現各種光/電性能測試需求的測試設備。該定制探針臺具有優良的機械系統，穩定的結構，符合人體工程學，以及多項升級功能。可廣泛應用于集成電路、Wafer，LED、LCD、太陽能電池等行業的制造和研究領域。
產品優勢：
可同時完成DC和RF測試
大手柄雙驅動，省時，省力，省心
雙光路系統，上光路可升級加載光電流系統
技術參數 產品型號 | DSH-6 | DSH-8 | DSH-12 | |
臺體 | 整機尺寸（mm） | 700mmL*700mmW*720mmH | 750mmL*750mmW*720mmH | 880mmL*880mmW*720mmH |
重量 | 85kg | 100kg | 160kg | |
卡盤大小 | 6" ,360 度轉動, 可微調 | 8" ，360 度轉動 ， 可微調 | 12"，360 度轉動，可微調 | |
卡盤行程和精度 | 6"*6" ， 精度 10um | 8"*8" ， 精度 10um | 12"*12" ， 精度 10um | |
卡盤材質 | 高透射玻璃或者鏤空 | |||
固定方式 | 機械式壓片固定，尺寸可調 | |||
卡盤升降功能 | Chuck可以上下快速升降5mm 和微調升降 6mm，精度 1 微米 | |||
可選附件 | 射頻校準臺；chuck 360度快速移動；探針座平臺升降；加熱等 | |||
針座平臺 | 類型 | 雙面點針平臺，單個平臺最多可放置8個DR/L-100探針座 | ||
材質 | U型平臺，鍍鎳，與探針座之間具備更強吸附力，帶接地端子 | |||
正面光學系統 | 顯微鏡類型 | 體式顯微鏡/視頻顯微鏡/金相顯微鏡+CCD 成像系統 | ||
倍率范圍 | 16X~100X/60X~420X/20X~4000X | |||
顯微鏡行程 | 具備高剛性龍門架結構，XYZ行程分別為2 英寸*2 英寸*2 英寸，精度 1um | |||
CCD 成像系統 | 200 萬/500 萬像素，幀率 60fps，帶拍照、錄像、測量功能 | |||
背面光學系統 | 顯微鏡類型 | L型單筒顯微鏡 | ||
連續變倍比 | 0.75X~5X | |||
倍率范圍 | 40X~280X（可選高倍物鏡增加倍率） | |||
CCD 成像系統 | 200 萬/500 萬像素，幀率 60fps，帶拍照、錄像、測量功能 | |||
探針座 | 類型 | DR/L-200m/V和DR/L-100m/V | ||
X-Y-Z 行程 | 12.5mm-12.5mm-12.5mm | |||
機械精度 | 0.5um/0.7um | |||
夾具 | 漏電精度 | 10pA/100fA | ||
接口形式 | 香蕉頭/鱷魚夾/同軸/叁軸接口/SMA /裸線等 | |||
其它 | 選件 | 屏蔽箱/防震桌/射頻探針卡/光電流顯微鏡/大功率 | ||
電力需求 | 220V/50HZ | |||
雙面點針探針臺 鏤空或高透光玻璃設計
