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時間：2022-4-24閱讀：1336

設(shè)計和開發(fā)

擁有先進(jìn)的半導(dǎo)體制造設(shè)備和不斷發(fā)展的機(jī)床精度的規(guī)模總是要求客戶提高性能。我們根據(jù)半導(dǎo)體路線圖、市場趨勢和客戶需求，制定超精密規(guī)模路線圖，并致力于研發(fā)。開發(fā)新設(shè)備和皮科米分辨率刻度時，還必須開發(fā)一個系統(tǒng)來評估它。

此外，設(shè)計和開發(fā)方法也必須不斷發(fā)展。物理、化學(xué)、電氣、機(jī)械和軟件工程師正在共同努力，提高磁階和激光秤的性能。我們的目標(biāo)是保持我們的基本技術(shù)能力，并成為一個團(tuán)隊，能夠快速、靈活地開發(fā)和商業(yè)化滿足客戶需求的產(chǎn)品。此外，我們開發(fā)具有可靠可靠性的產(chǎn)品，不會辜負(fù)客戶的信任。

機(jī)械設(shè)計
使用模態(tài)分析進(jìn)行
變形模擬
LSI布線的信號延遲驗證

磁性應(yīng)用技術(shù)

新的磁體刻度源自磁性應(yīng)用技術(shù)，是磁刻度上分辨率為 0.005 μm 的精密測量刻度。光學(xué)刻度檢測明暗晶格透射率的變化，而磁刻度通過磁頭檢測磁性介質(zhì)內(nèi)部記錄的磁晶格磁通量的變化。為了在磁尺度上獲得高分辨率，良好的磁性介質(zhì)和低應(yīng)變頭至關(guān)重要。

在規(guī)模方面，我們開發(fā)了高密度磁性介質(zhì)，具有耐環(huán)境性，可在各種環(huán)境下使用，包括機(jī)床和工業(yè)機(jī)械。磁頭使用 HDD 中進(jìn)化的磁阻效應(yīng)元件，通過*的模式設(shè)計將磁信號輸出為高靈敏度、極低失真的信號。此外，在磁刻度上成功實現(xiàn)了M碼磁信號檢測的化。頭部的信號通過專有信號校正電路消除影響精度的 D C 信號分量以及正弦和余弦信號之間的相位差和振幅不平衡，并與 M 代碼一起轉(zhuǎn)換為高分辨率、高精度的位置。

新的磁階適用于各種環(huán)境（如冷凝和油）的機(jī)床，這是光學(xué)讀取明暗晶格時無法實現(xiàn)的。此外，磁垢是與鑄鐵具有相同線性膨脹系數(shù)的刻度，鑄鐵是機(jī)器的結(jié)構(gòu)。因此，即使在發(fā)生溫度變化的環(huán)境中，也能在與機(jī)器相同的溫度特性下進(jìn)行拉伸，從而實現(xiàn)穩(wěn)定、高精度的加工。

磁垢將進(jìn)一步追求高精度和耐環(huán)境性能。

磁刻度記錄圖像
長精度測量設(shè)備

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