Axia ChemiSEM 智能型鎢燈絲掃描電鏡

【特點與應用】
實時成分信息：同步掃描獲取多種信號時執行能譜分析，實時檢測形貌與元素信息；
成像平臺即時可用：只需關注數據采集，不必憂慮電鏡條件設置；
更快獲得數據：多種成像和掃描策略，優化圖像采集效果并提升系統處理能力；
靈活的樣品臺設計：全開門式設計，大樣品可輕松加載到樣品倉內，樣品10 kg；
的成像性能：提供低真空模式和電子束減速模式用于消除荷電效應。

【技術參數】
發射源：預對中鎢燈絲

分辨率：
高真空成像
3.0 nm@ 30 kV（SE）；8.0 nm@ 3 kV（SE）
高真空下減速模式
7.0 nm@ 3 kV（BSE）
低真空成像
3.0 nm@ 30 kV（SE）；4.0 nm@ 3 kV（BSE）；10 nm@ 3 kV（SE）

放大倍數：5 ~ 1,000,000×（寶麗來相紙放大）

加速電壓范圍：200 V ~ 30 kV 

探針電流范圍：可達到2 μA，連續可調

低真空范圍：高達150 Pa

X-Ray工作距離：10 mm，EDS檢出角：35°

樣品室：內寬280 mm，端口10個

樣品臺：五軸全自動馬達驅動
X=120 mm,
Y=120 mm,
Z=55 mm,
T=-15o~90o,
R=360o （連續旋轉）
樣品尺寸 240 x 280 x 128 mm3
樣品承重 10 kg

探測器系統：
高真空二次電子探測器ETD
可伸縮式背散射探測器BSED
樣品室內紅外相機CCD
圖像導航彩色光學相機Nav-Cam+™
具有ChemiSEM技術的TrueSight X EDS 探測器

控制系統：
操作系統：Windows 10
圖像顯示：24寸LCD顯示器，顯示分辨率1920×1200
支持用戶自定義的GUI，可同時實時顯示四幅圖像
軟件支持Undo和Redo功能