ICP-MS 由高溫離子源（等離子體）、質(zhì)譜儀（通常是四極桿質(zhì)量過濾器）和檢測(cè)器組成。等離子體處于大氣壓下，質(zhì)譜儀和檢測(cè)器位于真空室中，因此 ICP-MS 還需要一個(gè)接口和離子透鏡傳遞離子通過系統(tǒng)。

基本原理：將液體樣品泵入霧化器形成氣溶膠，再隨氣流進(jìn)入等離子體。等離子體是一種高溫電火花，可蒸發(fā)樣品材料，然后使元素原子化和離子化。離子通過一個(gè)接口進(jìn)入真空室，再通過離子透鏡和碰撞/反應(yīng)池 (CRC) 與光子、中性粒子、干擾離子分離。分析物離子由四極桿質(zhì)量過濾器分選，每個(gè)質(zhì)量都被傳遞到檢測(cè)器進(jìn)行計(jì)數(shù)。