MKS RGA 殘余氣體分析儀 MicroVision Plus 具有高穩定性的操作和快速，寬的動態范圍掃描允許過程偏差和氣體成分的變化被立刻凸顯出來。MicroVision Plus 提供優秀的電子技術，以及可用于生產的殘余氣體分析儀器。

MicroVision Plus 具有“智能頭"技術——電子元件直接安裝在分析頭上，并通過RS232C或RS422接口直接連接到系統PC。為滿足特定的應用要求，可提供開放離子源和特高壓源。開放式離子源分析儀由不銹鋼和高純氧化鋁陶瓷制成，具有獨立可更換的雙燈絲，為更長的操作提供內置備份，沒有真空中斷。

MKS RGA 殘余氣體分析儀 MicroVision Plus 特點

1.高穩定性射頻和數據采集電子，快速預熱

2.快速，寬動態范圍掃描-快速突出工藝偏差

3.預過濾分析儀作為提高抗污染能力和提高質量靈敏度的標準

4.靈活的I/O能力，與生產工具和其他傳感器的交互

規格

質量范圍：1~100，1~200和1~300amu 標準1~6，和1~100高性能選項

MAX運行壓力：7.6 * 10^-5Torr

最小可探測壓強：通道板掃描電鏡：3.8 * 10^-14 Torr；單通道掃描電鏡：7.6 * 10^-15Torr

質量穩定性：在環境溫度穩定的條件下，8小時內優于±0.1amu