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當前位置：江蘇神州半導體科技有限公司>>射頻電源（RF）>>MKS GEW Series>> MKS(ENI) 3540MKS 高頻射頻電源 GEW-3540 40.68MHz 3000W
| 供貨周期 | 現貨 | 貨號 | GEW-3540-04 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 化工,電子/電池,電氣,綜合 | 主要用途 | RF GENERATOR |
| 品牌 | MKS | 型號 | GEW-3540 |
| M/N | GEW-3540-04 | P/N | 2L39-000005-23 |
| 頻率 | 40.68MHz | 輸出功率 | 3000W |
| 設備狀態 | Refurblished |
MKS 高頻射頻電源 GEW-3540 40.68MHz 3000W RF Generator 射頻發生器 是一款堅固耐用的射頻電源，用于等離子蝕刻，CVD和濺射應用，具體精確的電源控制和數字接口，為當今苛刻的等離子工藝提供了優秀的可靠性。
MKS GEW-3540 射頻電源發出40.68MHz的射頻，以3000W的功率到50Ω負載。基于DSP的控制模塊，自動測量正向射頻功率和反射射頻功率，在0 - 3000瓦的動態功率范圍內，保持恒定的功率輸出在設定值的±2%內。低諧波失真和雜散性能補充了該機組的射頻功率輸出控制和無條件的射頻穩定性。
MKS 高頻射頻電源 GEW-3540 40.68MHz 3000W 技術參數
AC輸入：3 phase~，200 ~ 208V，30A，50 ~ 60Hz
RF輸出：3000W，40.68Mhz，50Ω
電機扭力：14.2 ~ 16.6 LB-FT. ， 19.3 ~ 22.5 N-m
散熱方式：水冷散熱
水冷進水需求：7.5L/Min（2Gal/Min）
水冷水溫：+5℃ ~ +35℃
水冷水壓：60 PSI / 414 kPa（Max.）
通信接口：RS-232 Debug / Analog Interface / Front Panel
設備重量：32 KG（70 lbs）
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