KYOSAN 射頻電源 RFK50Z 13.56MHz 5KW RF Generator 是經(jīng)過長期驗證的具有高可靠性的射頻發(fā)生器，是面向核心等離子體應(yīng)用的業(yè)界前沿的可重復(fù)電源。RFK Series 射頻電源整體采用緊湊型的外觀設(shè)計，能夠有效的降低客戶的使用成本。設(shè)備主要運用于等離子蝕刻，CVD和濺射等應(yīng)用，堅固耐用，為等離子工藝提供了優(yōu)秀的可靠性。KYOSAN RFK系列射頻電源廣泛應(yīng)用在半導(dǎo)體制程的薄膜工藝中，具有優(yōu)良可靠的成膜能力，快速成膜。

KYOSAN 射頻電源 RFK50Z 13.56MHz 5KW RF Generator 參數(shù)規(guī)格

設(shè)備匹配：KYOSAN

設(shè)備型號：RFK50Z-TE8-RF

AC 電源輸入：3 phase ~ ，200 ~ 220V，50/60Hz

RF 射頻輸出：13.56MHz，5KW                                                                                                                                                                  

諧波失真：≤ -45dB

輸出：MOS-FET

輸出接口：HN type

散熱方式：水冷散熱

水冷進水流速：6L/min

設(shè)備重量：32kg