MKS 高頻射頻電源 EDGE 210R40A-G02 400KHz RF Generator 是一款優秀的射頻電源，輸出穩定性能可靠，能夠為優良的薄膜加工設備提供可靠的固態電源，是制造現代計算機和電子設備所需的集成電路或芯片的半導體制程中的重要部件。MKS EDGE系列射頻電源具有優良的成膜能力，能夠快速成膜，從而提高產線效率。EDGE系列射頻電源嚴格的制造環節把控，使得該型射頻電源在實際工作過程中能夠實現對射頻輸出的精準控制。

MKS 高頻射頻電源 EDGE 210R40A-G02 400KHz 參數規格

品牌：MKS

設備型號：EDGE 400KHz

AC 電源輸入：3 phase~，200~208V，90A，50/60Hz

RF 射頻輸出：400KHz

通訊接口：Interlock，ETHERNET，RS-232C，CEX，GIGABIT

設備散熱：水冷散熱

水冷進水需求：MIN水流速度 1.5Gal/min；MAX水流壓力 80PSI

設備重量：47.6kg（105lbs）