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當前位置：江蘇神州半導體科技有限公司>>射頻電源（RF）>> MKS LVF3527AMKS 射頻電源 LVF3527A 27MHz 3500W
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| 供貨周期 | 現貨 | 貨號 | LVF3527A-10B-05 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 化工,電子/電池,電氣,綜合 | 主要用途 | RF GENERATOR |
| 品牌 | MKS | 型號 | LVF3527A |
| M/N | LVF3527A-10B-05 | P/N | 660-072825-200 |
| 頻率 | 27MHz | 輸出功率 | 3500W |
| 設備狀態 | Refurbished |
MKS 射頻電源 LVF3527A 27MHz 3500W RF Generator 是經過長期驗證的具有高可靠性的射頻發生器，是面向核心等離子體應用的業界前沿的可重復電源。MKS 射頻電源整體采用緊湊型的外觀設計，能夠有效的降低客戶的使用成本。設備主要運用于等離子蝕刻，CVD和濺射等應用，堅固耐用，為等離子工藝提供了優秀的可靠性。MKS LVF系列射頻電源能夠實現對射頻輸出的精準控制，具有優良的成膜能力，在半導體薄膜工藝中有廣泛應用。
MKS 射頻電源 LVF3527A 27MHz 3500W 參數規格
設備品牌：MKS
設備型號：LVF3527A
AC Input：3 phase~ PE，208V，30A，50/60Hz
RF Output：27MHz，3500W
通信接口：RS-232C，Remote Panel，Analog I/O
設備散熱：風冷+水冷散熱
水冷進水需求：水冷流速2Gal/min（7.5L/min），水溫 5℃~35℃，Max 水壓60PSI（414kPa）
設備重量：32kg（70lbs）
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