供貨周期 |
現貨 |
貨號 |
2L39-000047-13 |
應用領域 |
化工,電子/電池,電氣,綜合 |
主要用途 |
RF GENERATOR |
品牌 |
DAIHEN |
型號 |
NX-FGA-30C |
P/N |
2L39-000047-13 |
頻率 |
40.68MHz |
輸出功率 |
3200W |
DAIHEN 高頻射頻電源 NX-FGA-30C 40.68MHz 3200W RF Generator 是經過長期驗證的輸出穩定、性能可靠的高性能射頻電源,廣泛應用在濺射、CVD、PECVD等半導體制程中。
DAIHEN 高頻射頻電源 NX-FGA-30C 40.68MHz 3200W RF Generator 是經過長期驗證的具有高可靠性的高新能射頻發生器,是面向核心等離子體應用的業界前沿的可重復電源。該系列射頻電源具有優秀的成膜能力,廣泛應用在半導體制程的薄膜工藝中,堅固耐用,為等離子工藝提供了優秀的可靠性。設備整體采用了緊湊設計,有效節約了機臺空間,從而降低客戶的使用成本。DAIHEN FGA系列射頻電源響應速度快,射頻控制精準,在薄膜工藝中具有較快的成膜速度,對降低能源損耗具有一定效果。
DAIHEN 高頻射頻電源 NX-FGA-30C 40.68MHz 參數規格
設備品牌:DAIHEN
設備型號:NX-FGA-30C
AC電源輸入:3 phase~,200V~,27A,50/60Hz
RF射頻輸出:40.68MHz,3200W
通訊接口:DeviceNet,Analog I/F,Debug
設備散熱:水冷散熱
設備重量:45kg


