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江蘇神州半導體科技有限公司
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DAIHEN 高頻射頻電源 FGA-50B 40.68MHz

參  考  價面議
具體成交價以合同協議為準

產品型號DAIHEN FGA-50B

品       牌其他品牌

廠商性質經銷商

所  在  地揚州市

更新時間:2023-11-23 10:58:35瀏覽次數:381次

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供貨周期 現貨 貨號 0191-71543
應用領域 化工,電子/電池,電氣,綜合 主要用途 RF GENERATOR
品牌 DAIHEN 型號 FGA-50B
P/N 0191-71543 頻率 40.68MHz
輸出功率 5000W 設備狀態 Brand?New
DAIHEN 高頻射頻電源 FGA-50B 40.68MHz 5000W RF Generator 是經過長期驗證的具有高可靠性的高性能射頻電源,廣泛應用于半導體制程中。

DAIHEN 高頻射頻電源 FGA-50B 40.68MHz 5000W RF Generator 是經過長期驗證的高性能射頻電源,射頻輸出精確高效,可靠性高。該款電源具有優秀的成膜能力,成膜速度快,效率高,廣泛應用于半導體制程的薄膜工藝中,固耐用,為等離子工藝提供了優秀的可靠性。設備整體采用了緊湊設計,降低了客戶的使用成本。該系列電源設備經過了嚴格的設計和可靠性測試,實現了高可靠性和耐久性,射頻輸出控制的精度高,整個輸出范圍內輸出功率穩定。

DAIHEN 高頻射頻電源 FGA-50B 40.68MHz 參數規格

品牌:DAIHEN                                                                                                             

型號:FGA-50B                                                                                   

AC電源輸入:3 phase~ ,200~220V,50/60Hz,40A

RF射頻輸出:40.68MHz,5000W

通訊接口:Analog I/F,Serial,DMU

設備散熱:水冷散熱

水冷進水需求:MIN進水流速 8L/min(2.11GPM),MAX進水水壓 0.7MPa(101.5PSI),進水水溫 10℃~35℃

設備重量:55kg


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