DAIHEN 射頻電源 NX-RGA-5A 13.56MHz 500W RF Generator 是經過現場長期驗證的具有優良工藝穩定性和控制能力的高性能射頻電源，在實際運行過程中表現出了優良性能和可靠性。DAIHEN NX-RGA 系列射頻電源具有優秀的成膜能力，成膜速度快，因此被廣泛的應用在半導體制程的薄膜工藝中。該型射頻電源設備具有穩定的射頻輸出和精準控制能力，主要運用于等離子蝕刻，CVD和濺射等應用，堅固耐用，為等離子工藝提供了優秀的可靠性。

DAIHEN 射頻電源 NX-RGA-5A 13.56MHz 500W 參數規格

設備品牌：DAIHEN                                                                                             

設備型號：NX-RGA-5A                                                                                              

AC 電源輸入：3 phase~ ，200V~，8A，50/60Hz

RF 射頻輸出：13.56MHz，500W

通訊接口：DeviceNet，Analog I/F，Pulse

設備散熱：風冷散熱+水冷散熱

水冷進水需求：MAX Torque 30N·m

設備重量：30kg