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AE RFG 2000-2V 射頻電源 13.56MHz 3KW

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貨物所在地：江蘇揚州市

更新時間：2024-12-23 08:47:09

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產(chǎn)品分類品牌分類

直流電源（DC）: AE Ascent Series TDK-Lambda Series AE PE Ⅱ Series AE MDX Series Sorensen MKS KYOSAN HPK Series ADL AE Pinnacle Series

射頻電源（RF）: KYOSAN JFK Series MKS GEW Series ADTEC TX Series COMET cito Series AE LFGS Series ULVAC RFS Series MKS Spectrum Series MKS EDGE Series KYOSAN RFK Series ENI GHW Series ENI ACG Series AE RFG Series AE PDX Series AE Paramount Series AE HFV Series AE APEX Series ADTEC TS Series DAIHEN RGA Series COMDEL AE Cesar Series ADTEC AX Series

遠程等離子源（RPS）: AE XSTREAM Series MKS Paragon Series MKS ASTRON Series AE Rapid Series

匹配器（RF Match）: AE Fixed Match DAIHEN HRM Series ENI MWH Series NIHON KOSHUHA AMC ULVAC MBX Series DAIHEN RMN Series DAIHEN FRM Series DAIHEN AMN Series COMET ASE AE Navio Series AE Mercury Series AE Navigator Series ADTEC AMVG Series

微波電源: NIHON KOSHUHA MKS ASTEX Series

其他產(chǎn)品: Monitor Bird連接線 Beckhoff UPS Servo Amplifier RGA RF Terminations OZONE Generator RF Power Meter

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產(chǎn)品簡介詳細介紹

AE 射頻電源 RFG 2000-2V 13.56MHz 3KW RF Generator 是經(jīng)過長期驗證的具有性能穩(wěn)定具有高可靠性的射頻電源。

AE 射頻電源 RFG 2000-2V 13.56MHz 3KW RF Generator 是經(jīng)過長期驗證的具有高可靠性和優(yōu)良性能的射頻電源，在實際運行中展現(xiàn)出了優(yōu)秀的工藝穩(wěn)定性和控制能力。該款射頻電源主要采用了緊湊的外觀設(shè)計，整體小巧便捷，占用空間小，能夠降低客戶的使用成本。AE RFG系列射頻電源具有良好的成膜能力，能夠快速成膜，被廣泛的應(yīng)用在半導(dǎo)體制程的薄膜工藝中，CVD、PVD、PECVD、濺射、蝕刻均有應(yīng)用。RFG 2000-2V，加上它相關(guān)的固定匹配網(wǎng)絡(luò)(MFA)，是一種傳統(tǒng)的AE 13.56 MHz射頻發(fā)生器，具有定制的腔室安裝和緊密的機械包絡(luò)。

AE 射頻電源 RFG 2000-2V 13.56MHz 3KW 參數(shù)規(guī)格

設(shè)備品牌：AE（Advanced Energy）

設(shè)備型號：RFG 2000-2V

AC 電源輸入：3 phase~ ，208V~，50/60Hz，20A

RF 射頻輸出：3000W，13.56MHz

設(shè)備散熱：水冷散熱

水冷進水需求：MAX進水水壓6.9 Bars/69kPa