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直流電源（DC）: AE Ascent Series TDK-Lambda Series AE PE Ⅱ Series AE MDX Series Sorensen MKS KYOSAN HPK Series ADL AE Pinnacle Series

射頻電源（RF）: KYOSAN JFK Series MKS GEW Series ADTEC TX Series COMET cito Series AE LFGS Series ULVAC RFS Series MKS Spectrum Series MKS EDGE Series KYOSAN RFK Series ENI GHW Series ENI ACG Series AE RFG Series AE PDX Series AE Paramount Series AE HFV Series AE APEX Series ADTEC TS Series DAIHEN RGA Series COMDEL AE Cesar Series ADTEC AX Series

遠程等離子源（RPS）: AE XSTREAM Series MKS Paragon Series MKS ASTRON Series AE Rapid Series

匹配器（RF Match）: AE Fixed Match DAIHEN HRM Series ENI MWH Series NIHON KOSHUHA AMC ULVAC MBX Series DAIHEN RMN Series DAIHEN FRM Series DAIHEN AMN Series COMET ASE AE Navio Series AE Mercury Series AE Navigator Series ADTEC AMVG Series

微波電源: NIHON KOSHUHA MKS ASTEX Series

其他產品: Monitor Bird連接線 Beckhoff UPS Servo Amplifier RGA RF Terminations OZONE Generator RF Power Meter

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產品簡介詳細介紹

MKS 臭氧發生器 ASTeX AX8407 OZONE Generator 通過無聲放電將純氧轉化為臭氧，實現高輸出和高濃度水平。

MKS 臭氧發生器 ASTeX AX8407 OZONE Generator 是一款高濃度、高流量的臭氧發生器，通過無聲放電將純氧轉化為臭氧，實現高輸出和高濃度水平。AX8407 只需要摻入微量的氮氣，遠遠低于其他臭氧發生器所需的氮氣水平，因此最終產生的如氮氧化物之類的污染物的含量是很低的。

MKS 臭氧發生器 ASTeX AX8407 OZONE Generator 參數規格

類型：臭氧氣體發生器

臭氧輸出：335g/Nm³

流量：5~40slm

原料氣：6級或是更好的氧氣；100~1000ppm 5級或更好的氮氣

額定腔室壓力：15~45psig（100~310kPa）

壓力：20~30psig

水冷溫度：5~25℃

水冷過濾：100微米

水冷水質：電阻率≥50KΩ/cm

水冷流量：7.6L/min MIN

AC輸入：208VAC（±10%），3 phase，15A，50/60Hz

設備重量：50kg（130LB）

尺寸規格：483 * 445 * 267 mm

MKS ASTeX AX8407 特征

1.臭氧濃度在 5°C 時高達 335 g/Nm³ 或 21.7 wt%

2.5slm ~ 40slm的 O₂ 流量可實現工藝靈活性

3.優秀的腔室結構設計可產生高濃度臭氧

4.閉環操作可實現更嚴格的過程控制

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