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產(chǎn)品分類(lèi)品牌分類(lèi)

直流電源（DC）: AE Ascent Series TDK-Lambda Series AE PE Ⅱ Series AE MDX Series Sorensen MKS KYOSAN HPK Series ADL AE Pinnacle Series

射頻電源（RF）: KYOSAN JFK Series MKS GEW Series ADTEC TX Series COMET cito Series AE LFGS Series ULVAC RFS Series MKS Spectrum Series MKS EDGE Series KYOSAN RFK Series ENI GHW Series ENI ACG Series AE RFG Series AE PDX Series AE Paramount Series AE HFV Series AE APEX Series ADTEC TS Series DAIHEN RGA Series COMDEL AE Cesar Series ADTEC AX Series

遠(yuǎn)程等離子源（RPS）: AE XSTREAM Series MKS Paragon Series MKS ASTRON Series AE Rapid Series

匹配器（RF Match）: AE Fixed Match DAIHEN HRM Series ENI MWH Series NIHON KOSHUHA AMC ULVAC MBX Series DAIHEN RMN Series DAIHEN FRM Series DAIHEN AMN Series COMET ASE AE Navio Series AE Mercury Series AE Navigator Series ADTEC AMVG Series

微波電源: NIHON KOSHUHA MKS ASTEX Series

其他產(chǎn)品: Monitor Bird連接線 Beckhoff UPS Servo Amplifier RGA RF Terminations OZONE Generator RF Power Meter

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介詳細(xì)介紹

MKS(ENI) 射頻電源 ACG-6B 13.56MHz 600W 提供一套緊湊、輕量級(jí)的射頻產(chǎn)品，具有各種用戶(hù)界面和功能，包括自動(dòng)頻率調(diào)諧、快速瞬態(tài)恢復(fù)和脈沖。

MKS(ENI) 射頻電源 ACG-6B 13.56MHz 600W RF Generator 射頻發(fā)生器 提供一套緊湊、輕量級(jí)的射頻產(chǎn)品，具有各種用戶(hù)界面和功能，包括自動(dòng)頻率調(diào)諧、快速瞬態(tài)恢復(fù)和脈沖。較少的零件數(shù)量和優(yōu)良的設(shè)計(jì)讓ACG系列產(chǎn)品即使是在要求苛刻的射頻等離子體的應(yīng)用中也能進(jìn)行高可靠性的運(yùn)作。該系列設(shè)備采用高效率的功率放大器，降低雜散輸，提高射頻的穩(wěn)定性及射頻功率裕度。

MKS ACG Series 射頻等離子發(fā)生器涵蓋了從低頻率到高頻率的全頻率范圍，專(zhuān)為高功率密度和額外凈空空間設(shè)計(jì)，提供現(xiàn)場(chǎng)驗(yàn)證的可靠性、優(yōu)秀的穩(wěn)定性和可重復(fù)性，以實(shí)現(xiàn)高運(yùn)行時(shí)間和產(chǎn)量。

MKS(ENI) 射頻電源 ACG-6B 13.56MHz 600W 技術(shù)參數(shù)

設(shè)備品牌：MKS（ENI）

設(shè)備型號(hào)：ACG-6B

AC 電源輸入：1 phase~ /PE，100~240V，1.6kVA，50/60Hz

RF 射頻輸出：600W，13.56MHz

通信接口：Analog I/O，Serial I/O，EXT.OSC

設(shè)備重量：12kg，26.5lbs

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