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產品分類品牌分類

直流電源（DC）: AE Ascent Series TDK-Lambda Series AE PE Ⅱ Series AE MDX Series Sorensen MKS KYOSAN HPK Series ADL AE Pinnacle Series

射頻電源（RF）: KYOSAN JFK Series MKS GEW Series ADTEC TX Series COMET cito Series AE LFGS Series ULVAC RFS Series MKS Spectrum Series MKS EDGE Series KYOSAN RFK Series ENI GHW Series ENI ACG Series AE RFG Series AE PDX Series AE Paramount Series AE HFV Series AE APEX Series ADTEC TS Series DAIHEN RGA Series COMDEL AE Cesar Series ADTEC AX Series

遠程等離子源（RPS）: AE XSTREAM Series MKS Paragon Series MKS ASTRON Series AE Rapid Series

匹配器（RF Match）: AE Fixed Match DAIHEN HRM Series ENI MWH Series NIHON KOSHUHA AMC ULVAC MBX Series DAIHEN RMN Series DAIHEN FRM Series DAIHEN AMN Series COMET ASE AE Navio Series AE Mercury Series AE Navigator Series ADTEC AMVG Series

微波電源: NIHON KOSHUHA MKS ASTEX Series

其他產品: Monitor Bird連接線 Beckhoff UPS Servo Amplifier RGA RF Terminations OZONE Generator RF Power Meter

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產品簡介詳細介紹

MKS 臭氧發生器 ASTeX AX8560 OZONE Generator 是主要設計用于全集成臭氧輸送子系統，該系統是一個*集成的臭氧發生器，具有內部臭氧監測和控制。

MKS 臭氧發生器 ASTeX AX8560 OZONE Generator 是專為低流量，高臭氧濃度的如ALD等應用設計的。AX8560結合MKS的高濃度、超清潔臭氧產生技術，集成臭氧濃度監測，流量控制，以及所有獨立操作所需的儀表和調節器。該子系統結構緊湊，重量輕，可以獨立，機架安裝或集成到AX8555多通道臭氧輸送系統。

優秀的MKS臭氧發生器電池技術通過無聲放電將純氧轉化為臭氧，達到可用的高臭氧濃度水平。AX8407 只需要摻入微量的氮氣，遠遠低于其他臭氧發生器所需的氮氣水平，因此最終產生的如氮氧化物之類的污染物的含量是很低的。

MKS 臭氧發生器 ASTeX AX8560 OZONE Generator 規格

類型：臭氧氣體發生器

臭氧輸出：26~180g/hr

流速：0.5~5slm

原料氣：6級或是更好的氧氣；20~100ppm 5級或更好的氮氣

額定腔室壓力：10~45psig（0.7~3.1bar）

壓力：20~30psig

水冷溫度：17~23℃

水冷過濾：100微米

水冷水質：電阻率≥50KΩ/cm

水冷流量：0.95~6.65L/min

AC輸入：208VAC（±10%），3 phase，5~12A MAX，50/60Hz

設備重量：40kg（88LB）

尺寸規格：482 * 429 * 267 mm

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