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產(chǎn)品分類品牌分類

直流電源（DC）: AE Ascent Series TDK-Lambda Series AE PE Ⅱ Series AE MDX Series Sorensen MKS KYOSAN HPK Series ADL AE Pinnacle Series

射頻電源（RF）: KYOSAN JFK Series MKS GEW Series ADTEC TX Series COMET cito Series AE LFGS Series ULVAC RFS Series MKS Spectrum Series MKS EDGE Series KYOSAN RFK Series ENI GHW Series ENI ACG Series AE RFG Series AE PDX Series AE Paramount Series AE HFV Series AE APEX Series ADTEC TS Series DAIHEN RGA Series COMDEL AE Cesar Series ADTEC AX Series

遠(yuǎn)程等離子源（RPS）: AE XSTREAM Series MKS Paragon Series MKS ASTRON Series AE Rapid Series

匹配器（RF Match）: AE Fixed Match DAIHEN HRM Series ENI MWH Series NIHON KOSHUHA AMC ULVAC MBX Series DAIHEN RMN Series DAIHEN FRM Series DAIHEN AMN Series COMET ASE AE Navio Series AE Mercury Series AE Navigator Series ADTEC AMVG Series

微波電源: NIHON KOSHUHA MKS ASTEX Series

其他產(chǎn)品: Monitor Bird連接線 Beckhoff UPS Servo Amplifier RGA RF Terminations OZONE Generator RF Power Meter

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產(chǎn)品簡介詳細(xì)介紹

MKS 射頻電源 ENI DOFBC2-083 27MHz RF Generator 是經(jīng)過長期現(xiàn)場(chǎng)驗(yàn)證的具有優(yōu)良工藝穩(wěn)定性和控制能力的高性能射頻電源。

MKS 射頻電源 ENI DOFBC2-083 27MHz RF Generator 是經(jīng)過長現(xiàn)場(chǎng)驗(yàn)證具有優(yōu)良工藝穩(wěn)定性和控制能力的高性能射頻電源，能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)射頻輸出的精準(zhǔn)控制，被廣泛運(yùn)用于濺射、CVD、PECVD、蝕刻等半導(dǎo)體制程工藝中。ENI 系列射頻電源具有優(yōu)秀的成膜能力，成膜效果好、速度快，運(yùn)用于半導(dǎo)體制程薄膜工藝中能夠提高成膜效率，一定程度上可以提高產(chǎn)線效率和產(chǎn)品良率。該型高頻射頻電源堅(jiān)實(shí)耐用，為等離子工藝提供了優(yōu)秀的可靠性。該型射頻電源設(shè)備整體上采用緊湊設(shè)計(jì)，緊湊小巧，能夠減少客戶的使用成本。

MKS 頻射頻電源 ENI DOFBC2-083 27MHz RF Generator 參數(shù)規(guī)格

設(shè)備品牌：ENI

設(shè)備型號(hào)：DOFBC2-083

AC 電源輸入：3 phase~ /PE，208V，25A，50/60Hz

RF 射頻輸出：27MHz

通訊接口：Solenoid Control，F(xiàn)iberoptic Interface

設(shè)備散熱：水冷散熱

設(shè)備重量：37.6kg，83.0lbs

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