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產品分類品牌分類

直流電源（DC）: AE Ascent Series TDK-Lambda Series AE PE Ⅱ Series AE MDX Series Sorensen MKS KYOSAN HPK Series ADL AE Pinnacle Series

射頻電源（RF）: KYOSAN JFK Series MKS GEW Series ADTEC TX Series COMET cito Series AE LFGS Series ULVAC RFS Series MKS Spectrum Series MKS EDGE Series KYOSAN RFK Series ENI GHW Series ENI ACG Series AE RFG Series AE PDX Series AE Paramount Series AE HFV Series AE APEX Series ADTEC TS Series DAIHEN RGA Series COMDEL AE Cesar Series ADTEC AX Series

遠程等離子源（RPS）: AE XSTREAM Series MKS Paragon Series MKS ASTRON Series AE Rapid Series

匹配器（RF Match）: AE Fixed Match DAIHEN HRM Series ENI MWH Series NIHON KOSHUHA AMC ULVAC MBX Series DAIHEN RMN Series DAIHEN FRM Series DAIHEN AMN Series COMET ASE AE Navio Series AE Mercury Series AE Navigator Series ADTEC AMVG Series

微波電源: NIHON KOSHUHA MKS ASTEX Series

其他產品: Monitor Bird連接線 Beckhoff UPS Servo Amplifier RGA RF Terminations OZONE Generator RF Power Meter

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產品簡介詳細介紹

射頻匹配器 AE Navigator 3013 RF Match, 13.56MHz 3KW。射頻匹配網絡配備微處理器控制的步進電機驅動，以及先進的調諧算法，可實現射頻功率優化。

AE Navigator 3013 RF Match 射頻匹配網絡可實現快速、精確、可靠的數字調諧匹配，使用先進的數字技術可縮短調諧和匹配響應時間。Navigator Series 射頻匹配網絡具有優秀的射頻等離子體控制方法，高級脈沖控制，可在脈沖時調諧，通過集成的內部射頻傳感器深入監測等離子體。內部射頻傳感器可實時分析過程功率和阻抗，幫助客戶快速識別并明顯減少工藝偏差。選配的虛擬前面板軟件，可通過用戶計算機進行監測和控制。

技術參數

Power ：1 ~ 30KW

Frequency ：400KHz ~ 60MHz

Other ：Single and multiple frequency capable, ICP and CCP capable

優點

1.快速調諧和縮短匹配響應時間

2.加強過程控制

3.提高設備效率和產品產量

4.提高可靠性，降低擁有成本

5.自定義各種腔室和工藝過程

特點

1.數字架構，采用基于模型的快速調諧算法

2.脈沖射頻供電

3.掃頻操作

4.互調失真（IMD）抗擾，針對多頻率應用

5.實時工藝功率和阻抗測量

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