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直流電源（DC）: AE Ascent Series TDK-Lambda Series AE PE Ⅱ Series AE MDX Series Sorensen MKS KYOSAN HPK Series ADL AE Pinnacle Series

射頻電源（RF）: KYOSAN JFK Series MKS GEW Series ADTEC TX Series COMET cito Series AE LFGS Series ULVAC RFS Series MKS Spectrum Series MKS EDGE Series KYOSAN RFK Series ENI GHW Series ENI ACG Series AE RFG Series AE PDX Series AE Paramount Series AE HFV Series AE APEX Series ADTEC TS Series DAIHEN RGA Series COMDEL AE Cesar Series ADTEC AX Series

遠程等離子源（RPS）: AE XSTREAM Series MKS Paragon Series MKS ASTRON Series AE Rapid Series

匹配器（RF Match）: AE Fixed Match DAIHEN HRM Series ENI MWH Series NIHON KOSHUHA AMC ULVAC MBX Series DAIHEN RMN Series DAIHEN FRM Series DAIHEN AMN Series COMET ASE AE Navio Series AE Mercury Series AE Navigator Series ADTEC AMVG Series

微波電源: NIHON KOSHUHA MKS ASTEX Series

其他產品: Monitor Bird連接線 Beckhoff UPS Servo Amplifier RGA RF Terminations OZONE Generator RF Power Meter

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產品簡介詳細介紹

AE 射頻電源 Paramount VHF 6060 57-63MHz 6KW RF Generator 可實現精密的射頻調節、復雜的脈沖操作和先進的數據采集。Paramount Plus Series 設計覆蓋廣泛的射頻能量范圍——從400KHz~60MHz，輸出功率從1.5KW~15KW，可以提供客戶需要的可重復性和可靠性。

AE 射頻電源 Paramount VHF 6060 57-63MHz 6KW RF Generator 射頻電源采用了面向新興等離子應用的多級脈沖和脈沖波形控制，為客戶提供了可靠的脈沖控制等優秀技術和可定制功能。Paramount系列擁有精確的射頻和脈沖控制，能夠快速響應等離子體變化，設備內置診斷工具。可實現精密的射頻調節、復雜的脈沖操作和先進的數據采集。Paramount Plus Series 設計覆蓋廣泛的射頻能量范圍——從400KHz~60MHz，輸出功率從1.5KW~15KW，可以提供客戶需要的可重復性和可靠性。

技術參數

功率等級：3 or 6 KW

頻率：27MHz、40MHz、60MHz，頻率調諧±5%

可用接口：RS-232、25針模擬、以太網、DeviceNet、Profibus、EtherCAT

AC Input：200/240VAC，400/480VAC

工頻：50/60Hz

散熱：風冷和水冷

工作環境溫度范圍：+5°C ~ +40°C，+41°F ~ +104°F

高級功能：多級脈沖，電弧管理，CEX

優點:

精密控制射頻
提高等離子提穩定性
加速等離子體轉換
縮短工藝時間
提高工藝可重復性和腔室匹配度

特點:

通過精密調節功率輸出提升射頻穩定性
先進的多級脈沖
脈沖同步和監測
實時功率和阻抗測量
先進的FastDAQ數據采集系統

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